«Бельгийская микроэлектроника» — это звучит несколько необычно. Вот Голландия, соседка Бельгии, куда как более на слуху, с её гигантом в области полупроводникового производственного оборудования ASML и одним из крупнейших мировых производителей микрочипов NXP. А между тем в Бельгии находятся ряд предприятий, значение которых для мировой микроэлектроники трудно переоценить.
Во первых — это международный химический гигант Solway. Основанная в середине 19 века бельгийская компания, в наше время представляет собой конгломерат с 45 производственными площадками в 41 стране, более чем 9000 сотрудниками и многомиллиардными годовыми объёмами продаж по части кальцинированной соды, пероксидов, силикагеля и прочей химической продукции. При чём здесь микроэлектроника? Дело в том, что полупроводниковые производственные линии потребляют огромное количество специализированных химических продуктов. И в их производстве Solway – один из безусловных мировых лидеров.
Травление является одним из важнейших этапов полупроводникового производства. Можно сказать, что столь известный сейчас процесс фотолитографии является не более чем подготовительным этапом к процессу травления пластин, при котором удаляется часть слоёв полупроводниковой пластины, обозначенных маской из фоторезиста, созданной фотолитографом. Ключевым химикатом в процессе влажного травления является перекись водорода высокой чистоты. Solvay производит этот материал специально для электронной промышленности. Кроме этого, бельгийская компания производит химические материалы для очистки технологических камер и для химико-механической полировки. Все эти материалы не на слуху, однако в могоступенчатом процессе создания современных микрочипов без них никак не обойтись.
Второй передовик бельгийской микроэлектроники — это IMEC, ведущий мировой научно-исследовательский институт, работающий в области наноэлектроники и цифровых технологий. Институт был основан в 1984 году как некоммерческая организация. По части разработок технологий для производства самых миниатюрных в мире микрочипов IMEC является безусловным мировым лидером. «Чистые помещения» этого исследовательского гиганта буквально напичканы самым современным оборудованием для производства полупроводников: фотолитографы голландской ASML, коатеры/проявители японской Tokyo Electron, установки травления американской Lam Research, — под крышей IMEC в городе Лёвене собран весь цвет оборудования мировых отраслевых производителей.
Поэтому, когда тот или иной производитель выпускет свою пилотную машину, он старается «пристроить» её именно в IMEC, чтобы обкатать техпроцессы на практике. Сотрудники полупроводниковых фабрик со своей стороны тоже стремятся приехать в IMEC, чтобы проверить что к чему перед заказом очередного оборудования у производителей. Тем более, что отладка техпроцессов в фабричных условиях может занять не один год. Поэтому производственные специалисты стремятся заранее приехать в IMEC, чтобы начать работу/учёбу, не дожидаясь прибытия заказанного оборудования на фабрику.
Яркий случай — строительство в Японии ультрасовременной полупроводниковой фабрики Rapidus, которая будет выпускать чипы по техпроцессу 2 нм. Отработкой технологических цепочек на возводимой cейчас на острове Хоккайдо фабрике занимаются именно специалисты IMEC. Не так давно в голландском Вельдховене, прямо на территории ASML, была открыта совместная лабратория по отработке техпроцессов на самых современных на сегодня фотолитографах экстремального ультрафиолета с высокой числовой апертурой.
Помимо этих двух гигантов, в Бельгии находятся ещё два предприятия вполне мирового уровня: Melexis и BelGan. Melexis является бесфабричной компанией, разрабатывающей смешанные аналогово-цифровые интегральные схемы и микроэлектромеханические системы (МЭМС). В основном разработки бельгийской компании применяются в автомобильной промышленности. Ежегодный объём продаж приближается к миллиарду долларов, что делает Melexis одной из ведущих компаний в этом секторе. BelGaN – фабрика, производящая микрочипы на набирающем сейчас популярность нитриде галлия (GaN). Эти полупроводники используются прежде всего в автопроме и системах связи. Среди традиционных заказчиков продукции BelGaN практически все гранды европейского автопрома: BMW, Mercedes-Benz, Peugeot, Volkswagen.
Можно подытожить, что Бельгия имеет вполне развитую микроэлектронную промышленность, вносящую немалый вклад в мировой прогресс в этой высокотехнологической отрасли.
