Фотолитограф

📀 Китай смог осуществить самый настоящий прорыв в области производства 12-дюймовых (300 мм) кремниевых пластин. Отличилась ESWIN (Xi'an ESWIN Materials Technology Co., Ltd.), крупнейшая китайская компания по этой части. Новейшие мегафабрики этого предприятия в Сиане и Ухане позволяют производить порядка 1,2 млн полупроводниковых пластин в месяц. 📀 По оценкам отраслевых экспертов это покрывает около 40% потребности китайской полупроводниковой промышленности и ставит ESWIN в один ряд с ведущими мировыми производителями таких пластин (порядка 10% мирового рынка). 📀 Примечательно, что в области менее технологичных пластин с меньшим диаметром, 200 и 150 мм, Китай уже давно захватил передовые позиции. Но вот по части более сложных в изготовлении 300 мм пластин до недавнего времени полагался на западных производителей, прежде всего японских Shin-Etsu и Sumco, лидеров мирового рынка. 📀 Интересно, насколько быстро китайская микроэлектроника наращивает свои мощности: серийное производство первых 300 мм пластин ESWIN начал только в 2020 году. Причём китайский передовик производит как полированные пластины, так и эпитаксиалные. 📀 Компания является вертикально-интегрированной: на её фабриках происходит и выращивание монокристаллов, и нарезка пластин, и их обработка, и очистка, и эпитаксия. 📀 Амбиции Китая в этой области можно понять: пластины монокристаллического кремния являются подложками, на которых возводятся могослойные чипы, а 300 мм пластины являются основой для самых передовых «систем на кристалле» и ускорителей графического интеллекта. Без них добиться столь желанной для Китая независимости от Запада в области высоких технологий никак не получится. 📷 На фото: фабрика ESWIN. Изображение: eswin.com

📀 Российские чипы есть! Это убедительно продемонстрировал передовик российского полупроводникового производства, зеленоградский завод «Микрон» на выставке «ExpoElectronica 2026». 📀 Примечательно, что таких изделий как у нас, в целом мире не сыщешь. Была представлена линейка сувенирной продукции: полупроводниковые пластины-спутники c кристаллами интегральных микросхем производства зеленоградского передовика (такие пластины используются для контроля техпроцесса на производстве). 📀 Изюминка в том, что пластины находятся в художественных рамках, исполненных в стиле Хохломы, Гжели, вологодского кружева и прочих традиционных русских орнаментов. Красота да и только. 📀 Разумеется, в наличие российских чипов крупнейший российский производитель микроэлектроники убеждал посетителей выставки не только сувенирами на основе фольклорной росписи. 📀 На мощностях «Микрона» в 2025 году освоен серийный выпуск не много ни мало 61 нового изделия, среди которых контроллеры тока и напряжения, биполярные регуляторы, несинхронные преобразователи напряжения, операционные усилители, компараторы, разнообразные радиочастотные устройства. 📀 Интересно, что в 2025 году «Микрон» начал корпусирование своего ставшего уже знаменитым микроконтроллера «Амур» собственными силами. 📀 В общем, прогресс у лидера российской полупроводниковой промышленности налицо. Будем надеяться, что Хохлома с Гжелью ему будут в помощь. 📷 Изображение: mikron.ru

📀 Сколько всего EUV фотолитографов было поставлено полупроводниковым фабрикам на сегодняшний день? Следует отметить, что речь идёт исключительно о продукции нидерландской ASML: никто другой в нашем мире с этой сложнейшей машиной так и не справился. 📀 Всего поставлено около 300 машин. Трудно назвать цифру с точностью до единицы, поскольку не вполне ясна текущая ситуация: отгрузили уже последние несколько машин заказчикам или ещё нет. 📀 Но как бы то ни было, количество немаленькое. И львиная доля этой техники трудится на фабриках мирового лидера в области контрактного производства, тайваньской TSMC. Сами тайваньцы в 2024 году оценивали свою долю EUV машин в 56% от мировой. 📀 Кто ещё является счастливым обладателем такой техники? Список очень недлинный: южнокорейские Samsung Electronics и SK Hynix, американские Micron и Intel. Разумеется, если не брать в расчёт EUV машины, работающие в исследовательских центрах, таких как бельгийский IMEC или американский SUNY. 📀 Вообще производство фотолитографов экстремального ультрафиолета сейчас на подъёме: по заявлению самой ASML, они стремятся в этом году выйти на цифру в 60 единиц техники, а начиная с 2027 года, выпускать порядка 80 EUV установок в год. Для сравнения, в 2025 году голландцы отгрузили заказчикам 48 EUV машин. 📀 Всё дело в бурном развитии рынка искусственного интеллекта. Ведь высокопроизводительные процессоры, графические процессоры и микросхемы памяти, составляющие основу ИИ-серверов, сейчас изготавливаются по ультрапередовым техпроцессам в несколько нанометров, а стало быть с использованием EUV фотолитографов. 📀 Но и «систему на кристалле» флагманского смартфона или мощный процессор для игрового компьютера без такой техники сделать не получится. 📀 Считается, что первой EUV машиной, отгруженной заказчику (Samsung Electronics, 2010 год), стала предсерийная модель TWINSCAN NXE:3100. Ну а дальше пошло-поехало. И останавливаться на достигнутом нидерландский передовик очевидно не собирается. На фото: Сотрудники ASML отмечают отгрузку 100-й установки EUV. Декабрь 2020 г. Изображение: ©ASML