Фотолитограф

📀 «Главное фотолитографическое мероприятие года», заседание Научного совета ОНИТ (Отделение нанотехнологий и информационных технологий) РАН, с успехом прошло в этом месяце в Москве. 📀 Заседание было посвящено «фундаментальным проблемам элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания». 📀 Ключевой темой мероприятия стало обсуждение представителями научных и производственных кругов отечественной полупроводниковой промышленности перспектив создания комплексной отечественной производственной базы, которая сможет обеспечить выпуск микросхем промышленного назначения. 📀 Особый интерес вызвало выступление генерального директора АО «ЗНТЦ» (Зеленоградский нанотехнологический центр) Анатолия Ковалева. Именно зеленоградская компания первой в России в прошлом году выпустила фотолитограф (степпер), работающий по техпроцессам 350 нм. 📀 Г-н Ковалёв в своём выступлении проинформировал о научно-технических решениях ЗНТЦ, реализованных в первом степпере, а также о работе над более передовыми технологиями, которые должны сделать возможным производство в будущем 130 и 90 нм степперов. 📀 Примечательно, что зеленоградская компания, помимо того, что отрабатывает техпроцессы на своём первом опытном фотолитографе, уже занимается производством первых двух серийных машин для российских заказчиков: АО «Отраслевые решения» и ООО «Маппер». 📀 Что тут скажешь? Хорошо, что в стране сохраняется интерес к этой ключевой теме современных высоких технологий. Значит, можно надеяться, что создание комплексной полупроводниковой промышленности, причём работающей на отечественной технике и материалах, действительно не за горами. 📷 На фото: в производственных цехах передовика отечественной микроэлектроники, зеленоградского «Микрона». Изображение: пресс-центр mikron.ru