Японское «полупроводниковое чудо». Часть V: фотолитографы.
Драматическая история взлёта японской микроэлектроники на вершину мирового полупроводникового Олимпа и её последующего падения неразрывно связана с фотолитографами, ключевым оборудованием полупроводникового производства. Начиная с выпуска первых микросхем в начале 60-х, фотолитографы с каждым годом становились всё сложнее, следуя за непрекращающейся вплоть до наших дней тенденцией к миниатюризации техпроцессов, пока не превратились в самые сложные машины, созданные человеком. Мировой лидер наших...