Фотолитографы

Кажется, что в наши дни о фотолитографических машинах экстремального ультрафиолета ((EUV) слышали буквально все. И это неудивительно. Ведь именно эти машины позволяют изготавливать самые передовые чипы: «системы на кристалле» наших смартфонов, мощные графические процессоры и микросхемы HBM (высокоскоростной) памяти. Фотолитографы ЕUV (Extremal Ultraviolet = экстремальный ультрафиолет) используют рабочие световые волны длиной 13,5 нанометров, относящиеся к диапазону экстремального ультрафиолета (10 нм — 120 нм)...

Фотолитограф — ключевое оборудование в производственной цепочке производства микросхем. Именно эта машина позволяет перенести узор интегральной схемы, предварительно «нарисованный» на фотошаблоне (электронно-лучевыми машинами прямой записи), на полупроводниковую пластину, покрытую фоторезистом (светочувствительным материалом). Таким образом на пластине формируется трафарет из твёрдого фоторезиста, согласно которого на последующих этапах полупроводникового производства и будут формироваться микрочипы (посредством процедур травления, ионной имплантации, осаждения и т...

Японская компания DNP (Dai Nippon Printing), мировой передовик в области производства шаблонов для фотолитографических машин, ключевого оборудования в производстве микросхем, объявила о разработке формы (штампа) для наноимпринтной литографии с шириной линии (разрешением) 10 нм. Штамп наноимпринтного литографа. Изображение: скрин global.canon Японцы утверждают, что новый штамп способен «заменить часть процесса EUV литографии». А ведь фотолитографы экстремального ультрафиолета (EUV) — единственные...

Может ли Россия стать серьёзным игроком на рынке оборудования для полупроводникового производства? Не только может, но и должна, причём в самом что ни на есть мировом масштабе (разумеется, в союзе с братской Белоруссией). Вспомним советские времена. Какие страны смогли создать комплексную полупроводниковую промышленность? Всего четыре: США, Япония, СССР и ГДР. Следует отметить, что микроэлектроника США и Японии, и, соответственно, СССР и ГДР, были столь сильно переплетены между собой, что точнее будет сказать, что на основе этих стран было сформировано два центра силы: Западный и Советский...

Наноимпринтный литограф: эта машина сейчас вызывает самый большой интерес среди участников полупроводникового производства по всему миру. И это неудивительно: фотолитографы безраздельно доминируют в мировой микроэлектронике с самого начала зарождения полупроводниковой промышленности как таковой: вначале их изготавливали сами же производители микросхем: IBM, Fairchild Semiconductor и далее по списку. Ведь приобрести машину у специализированных производителей было попросту невозможно ввиду отсутствия таковых...

Учитывая грандиозную стоимость этих ультрасовременных машин (EUV = экстремальный ультрафиолет), а речь идёт о сотнях миллионов долларов, вопрос совсем не праздный. Зная время, необходимое для экспонирования одного слоя полупроводниковой пластины, нетрудно рассчитать и производительность машины. Тем более, что такие установки работают 24 часа в день, 7 дней в неделю. При этом не следует забывать, что полупроводниковая пластина с чипами представляет из себя «слоёный торт», причём количество слоёв у логических сипов обычно составляет несколько десятков, а у чипов флеш-памяти — неколько сотен...