Найти в Дзене
Фотолитографы

Фотолитографы

История, настоящее и перспективные разработки фотолитографических машин: ключевого оборудования полупроводникового производства.
подборка · 131 материал
936 читали · 1 день назад
Российские и голландские DUV фотолитографы: +35 лет.
Попалось сообщение от 2008 года лидера мировой фотолитографии, нидерландской ASML, об отгрузке 1000-й фотолитографической системы KrF. Речь шла о фотолитографах, использующих источники излучения, построенные на фторид-криптоновых эксимерных (газовых) лазерах, генерирующих свет с длной волны 248 нанометров. Эти машины пришли на смену предыдущей линейке техники, так называемых i-line литографов, работающих на ультрафиолетовом свете с длиной волны 365 нм и использующих для его генерации ртутные лампы...
1071 читали · 1 неделю назад
Сколько самолётов можно купить за один EUV фотолитограф?
На удивление много. Ведь фотолитограф экстремального ультрафиолета с высокой числовой апертурой (High NA EUV) производства нидерландской ASML (мирового монополиста) стоит около 400 млн долларов. А сколько стоит узкофюзеляжный «Боинг-737»? Миллионов так под 100. Примерно столько же стоит и истребитель F-35A. Речь идёт только о порядке цен. Точные цены зависят от модели, комплектации, бывают прейскурантными и контрактными. Впечатляет, не так ли? Вместо одного фотолитографа можно обзавестись целым парком «Боингов» или пол-эскадрильей истребителей...
162 читали · 2 недели назад
📀 Сколько всего EUV фотолитографов было поставлено полупроводниковым фабрикам на сегодняшний день? Следует отметить, что речь идёт исключительно о продукции нидерландской ASML: никто другой в нашем мире с этой сложнейшей машиной так и не справился. 📀 Всего поставлено около 300 машин. Трудно назвать цифру с точностью до единицы, поскольку не вполне ясна текущая ситуация: отгрузили уже последние несколько машин заказчикам или ещё нет. 📀 Но как бы то ни было, количество немаленькое. И львиная доля этой техники трудится на фабриках мирового лидера в области контрактного производства, тайваньской TSMC. Сами тайваньцы в 2024 году оценивали свою долю EUV машин в 56% от мировой. 📀 Кто ещё является счастливым обладателем такой техники? Список очень недлинный: южнокорейские Samsung Electronics и SK Hynix, американские Micron и Intel. Разумеется, если не брать в расчёт EUV машины, работающие в исследовательских центрах, таких как бельгийский IMEC или американский SUNY. 📀 Вообще производство фотолитографов экстремального ультрафиолета сейчас на подъёме: по заявлению самой ASML, они стремятся в этом году выйти на цифру в 60 единиц техники, а начиная с 2027 года, выпускать порядка 80 EUV установок в год. Для сравнения, в 2025 году голландцы отгрузили заказчикам 48 EUV машин. 📀 Всё дело в бурном развитии рынка искусственного интеллекта. Ведь высокопроизводительные процессоры, графические процессоры и микросхемы памяти, составляющие основу ИИ-серверов, сейчас изготавливаются по ультрапередовым техпроцессам в несколько нанометров, а стало быть с использованием EUV фотолитографов. 📀 Но и «систему на кристалле» флагманского смартфона или мощный процессор для игрового компьютера без такой техники сделать не получится. 📀 Считается, что первой EUV машиной, отгруженной заказчику (Samsung Electronics, 2010 год), стала предсерийная модель TWINSCAN NXE:3100. Ну а дальше пошло-поехало. И останавливаться на достигнутом нидерландский передовик очевидно не собирается. На фото: Сотрудники ASML отмечают отгрузку 100-й установки EUV. Декабрь 2020 г. Изображение: ©ASML
17,7 тыс читали · 2 недели назад
Долгожданный российский DUV фотолитограф на подходе.
Какие фотолитографы доминируют в передовой полупроводниковой промышленности? Кто-то скажет: фотолитографы экстремального ультрафиолета (EUV). Но нет: это их предшественники, фотолитографы глубокого ультрафиолета (DUV). Ведь если речь идёт об изготовлении «систем на кристалле» смартфонов или ноутбуков, серверных или клиентских процессоров, ускорителей искусственного интеллекта, то большинство слоёв таких микросхем (обычно от нескольких десятков до сотни) формируется именно при помощи DUV фотолитографов...
7949 читали · 3 недели назад
Первый российский фотолитограф бескорпусной. Почему?
Многие наверняка заметили и даже удивились тому, что первый российский фотолитограф, совместно произведённый Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) и минским заводом «Планар», не имеет корпуса. Вместо этого машина установлена в микроклиматическом кабинете, что по нашим временам большая редкость. Впрочем, почему бы и нет? В каком-то смысле для обслуживающего установку персонала это даже удобнее: не нужно возиться с корпусом — просто зашли в кабинет, выполнили, что требуется и вышли. Однако...
3899 читали · 3 недели назад
Крах японских EUV фотолитографов.
Фотолитограф экстремального ультрафиолета (EUV) — незаменимая на сегодняшний день машина в технологической цепочке производства ультрапередовых микросхем. Удивительно, но такую технику производит только одна комания: нидерландская ASML. Ситуация, прямо скажем, в современном мире нетипичная. Особенно с учётом того, что производство таких машин является делом чрезвычайно выгодным. В конце концов другой такой станок, который стоит полмиллиарда долларов, в мире ещё поискать. Разумеется, захватывающие...