Фотолитографы

Что же нам делать с фотолитографом экстремального ультрафиолета? Поскольку о каких-то прорывах в области иммерсионной литографии ничего не слышно, похоже, что создание EUV машины — наша единственная реальная возможность подобраться к производству столь нужных нам передовых микрочипов. Возникает вопрос, что лучше: пойти по стопам мирового монополиста в этой области, нидерландской ASML, или разработать свою оригинальную машину? Ответ на такой вопрос совсем не очевидный. К слову, подобный вопрос у нас возникает не в первый раз...

Скажем честно: как бы нам этого не хотелось, но в ближайшие годы российский фотолитограф экстремального ультрафиолета, способный производить чипы по ультрапередовым техпроцессам в несколько нанометров, у нас не появится. Впрочем, большой вопрос, появится ли у нас за это время EUV машина, способная производить реальные чипы хоть по каким нанометрам, например по столь нужным нашей стране 28 нм? У нас сейчас не только нет хотя бы модели перспективного EUV фотолитографа, не говоря уже об опытной машине, у нас нет даже ясности, какую именно установку мы собираемся в конце концов начать делать...

Производитель фотолитографов № 2 в мире, японский Nikon, опубликовал отчёт за 2026 финансовый год (с 01.04.2025 по 31.03.2026). Результаты в области фотолитографии оказались поистине обескураживающими. В этом году не было продано ни одного иммерсионного фотолитографа, а годом ранее было отгружено всего 3 таких машины. Что очень и очень мало, но таким образом Nikon хотя бы смог поддержать своё реноме производителя передовых фотолитографов глубокого ультрафиолета (DUV). Что же касается ультрапередовых...

В наше время все проекционные фотолитографы, как степперы, так и сканеры, для перемещения и позиционирования полупроводниковых пластин и фотошаблонов (в случае со сканерами) используют сервоприводы (усовершенствованные электроприводы с обратной связью) на основе линейных электродвигателей. Кажется, что так было всегда. Но нет: на заре фотолитографии многие считали, что гидравлическая система с такими задачами справится лучше. И действительно, гидравлический двигатель обладал гораздо большей удельной мощностью, чем электродвигатели того времени...

Именно так: производителям самых передовых «систем на кристалле» современных смартфонов и ноутбуков без такой техники как фотолитографы, работающие по 350 нм техпроцессам, обойтись весьма проблематично. Но почему так? Мы же знаем, что такие микросхемы производятся по тончайшим на сегодня техпроцессам в несколько нанометров (в конце прошлого года на мощностях тайваньской TSMC даже началось серийное производство 2 нм «систем на кристалле» для смартфонов Apple). А для такого производства и фотолитографы...

Очевидно, что с запуском новых моделей фотолитографов мы спешим, причём в хорошем смысле слова. Принимая во внимание, как мы отстали за последние несколько десятилетий в области электронного машиностроения, выжидать нам больше точно нечего. И всё же это действительно очень быстро. Только в прошлом году появилась первая российская фотолитографическая машина, степпер «Прогресс СТП-350» совместного производства Зеленоградского нанотехнологического центра (ЗНТЦ) и минского «Планара», как уже подходят к завершению работы по созданию более передового опытного 130 нм степпера...