Найти в Дзене
Фотолитографы

Фотолитографы

История, настоящее и перспективные разработки фотолитографических машин: ключевого оборудования полупроводникового производства.
подборка · 119 материалов
116 читали · 15 часов назад
Двойной лазерный импульс в EUV фотолитографе.
Способность непрерывно генерировать свет экстремального ультрафиолета (EUV) лежит в основе EUV фотолитографов. Создать источник такого излучения чрезвычайно сложно. Попыток было много, разнообразие технологий исполнения тоже впечатляет, но на практике осуществить задуманное удалось только нидерландской ASML. Собственно поэтому голландцы и производят EUV фотолитографы в гордом одиночестве, снимая все сливки с этого премиального рынка. Столь желанный свет экстремального ультрафиолета (EUV) с длиной волны 13,5 нанометров излучается плазмой олова...
151 читали · 2 дня назад
📀 «Главное фотолитографическое мероприятие года», заседание Научного совета ОНИТ (Отделение нанотехнологий и информационных технологий) РАН, с успехом прошло в этом месяце в Москве. 📀 Заседание было посвящено «фундаментальным проблемам элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания». 📀 Ключевой темой мероприятия стало обсуждение представителями научных и производственных кругов отечественной полупроводниковой промышленности перспектив создания комплексной отечественной производственной базы, которая сможет обеспечить выпуск микросхем промышленного назначения. 📀 Особый интерес вызвало выступление генерального директора АО «ЗНТЦ» (Зеленоградский нанотехнологический центр) Анатолия Ковалева. Именно зеленоградская компания первой в России в прошлом году выпустила фотолитограф (степпер), работающий по техпроцессам 350 нм. 📀 Г-н Ковалёв в своём выступлении проинформировал о научно-технических решениях ЗНТЦ, реализованных в первом степпере, а также о работе над более передовыми технологиями, которые должны сделать возможным производство в будущем 130 и 90 нм степперов. 📀 Примечательно, что зеленоградская компания, помимо того, что отрабатывает техпроцессы на своём первом опытном фотолитографе, уже занимается производством первых двух серийных машин для российских заказчиков: АО «Отраслевые решения» и ООО «Маппер». 📀 Что тут скажешь? Хорошо, что в стране сохраняется интерес к этой ключевой теме современных высоких технологий. Значит, можно надеяться, что создание комплексной полупроводниковой промышленности, причём работающей на отечественной технике и материалах, действительно не за горами. 📷 На фото: в производственных цехах передовика отечественной микроэлектроники, зеленоградского «Микрона». Изображение: пресс-центр mikron.ru
9282 читали · 5 дней назад
Вызов российской микроэлектронике: 90 нм микросхемы.
Этот класс микросхем для нашей страны особенный. Почему? Да потому что самые передовые фотолитографы, которые сейчас реально разрабатываются в России, должны будут производить микросхемы именно по 90 нм техпроцессу. При чём тут вообще нанометры? Дело в том, что микросхемы такого класса производятся на планарных (плоских) транзисторах. Поэтому размеры в них самые настоящие. Так что если измерить длину затвора такого транзитсора, то получим именно 90 нм. Казалось бы, что тут особенного? Дело именно в правдивости этих цифр...
145 читали · 1 неделю назад
EUV: существует ли в природе экстремальный ультрафиолет?
Это световое излучение стало просто незаменимым в EUV фотолитографах, ключевом оборудовании в производстве передовых микросхем. Собственно, это излучение и дало название этой технике: фотолитографы экстремального (крайнего) ультрафиолета. Длина волны такого излучения находится в диапазоне от 10 до 120 нанометров. Единственные на сегодня EUV фотолитографы (производства нидерландского монополиста ASML) работают на источнике излучения с длиной волны 13,5 нм. Российские учёные из нижегородского Института...
3108 читали · 2 недели назад
Почему мы так отстали в области фотолитографов?
Дело в том, что это ключевое для полупроводниковой промышленности оборудование ни в РСФСР, ни в современной России никогда не производилось (оставим за скобками полукустарное производство на заре микроэлектроники, когда во всём мире, и в Советском Союзе в частности, нехитрые контактные машины изготавливались прямо на полупроводниковых предприятиях и в лабораториях). Следует отметить, что необходимость в создании профильного предприятия электронного машиностороения в те годы у руководителей отрасли сомнений не вызывало...
110 читали · 2 недели назад
📀 ASML, мировой лидер в производстве фотолитографов, собирается существенно увеличить свои производственные мощности. Городской совет нидерландского Эйндховена выдал необходимые разрешения на начало очередного строительства. 📀 Голландский передовик планирует открыть новый кампус, рассчитанный на 5000 человек, уже к началу 2028 года. Всего новые производственные мощности позволят трудоустроить порядка 20 тысяч человек. И это при том, что по всему миру в ASML работает более 44 тысяч сотрудников, большая часть из которых трудится в небольшом городке Вельдховене, рядом с региональным центром Эйндховеном. 📀 Предполагается, что новые мощности будут способствовать удовлетворению возрастающего спроса на фотолитографическую технику. Важно подчеркнуть, что ASML является мировым монополистом в области ультрапередовых фотолитографов экстремального ультрафиолета. При том, что современные чипы искусственного интеллекта без использования таких машин изготовить не получится. Да и «системы на кристалле» для передовых смартфонов и ноутбуков тоже. 📀 Поскольку очень похоже, что кроме ASML, никто в мире в ближайшие годы технику такого класса предлагать не собирается, голландскому передовику приходится отдуваться за всех. 📷 На фото: кампус ASML в нидерландском Вельдховене. Изображение: ©ASML