Фотолитографы

История, настоящее и перспективные разработки фотолитографических машин: ключевого оборудования полупроводникового производства.

подборка · 104 материала

Фотолитограф

1847 читали · 3 дня назад

Когда закончится монополия ASML в EUV фотолитографах?

Без участия фотолитографов экстремального ультрафиолета (EUV) в наше время не обходится производство ни одного передового чипа. Если речь идёт о микросхемах, произведённых по 4, 3 или 2 нм техпроцессам, то можно быть совершенно уверенными, что эти машины приняли в их производстве самое деятельное участие. Так что мощные графические процессоры игровых компьютеров, «системы на кристалле» топовых смартфонов и ускорители искусственного интеллекта мегацентров обработки данных обязаны своим появлением именно EUV фотолитографам...

Фотолитограф

9041 читали · 1 неделю назад

Тестирование наноимпринтного литографа уже в разгаре.

Наноимпринтный литограф — единственный реальный кандидат на то, чтобы разрушить монополию фотолитографов экстремального ультрафиолета (EUV), ключевого оборудования в производстве ультрапередовых чипов. И если по части EUV фотолитографов в мире сложилась самая настоящая монополия в лице нидерландской компании ASML, то в области наноимпринтных мащин для полупроводникового производства первым оказался японский оптичнеский передовик Canon. Тестирование новинки ведущими мировыми производителями микросхем, в том числе американской Intel и южнокорейской Samsung Electronics, сейчас в самом разгаре...

Фотолитограф

236 читали · 1 неделю назад

Иммерсионные литографы: «рабочие лошадки» микроэлектроники.

В наше время внимание общественности прежде всего приковано к фотолитографам экстремального ультрафиолета (EUV). И это можно понять: ведь именно с их помощью изготавливаются ультрапередовые микросхемы по техпроцессам всего в несколько нанометров. Именно такие микросхемы используются в топовых смартфонах и ускорителях искусственного интеллекта. Менее известно, что большинство слоёв даже самых продвинутых чипов изготавливаются отнюдь не с помощью EUV фотолитографов, а с помощью их «старших братьев», иммерсионных фотолитографов глубокого ультрафиолета (DUV)...

Фотолитограф

213 читали · 2 недели назад

📀 За разработку первого отечественного фотолитографа главный приз премии «Техноход-2025» в номинации «Техносуверенитет» получило зеленоградское АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ). Премия вручается ежегодно резидентам Особой экономической зоны «Технополис Москва», ведущего технопарка российских высоких технологий. 📀 Фотолитограф с проектными нормами 350 нм — это только первый шаг к обеспечению технологического суверенитета российской полупроводниковой промышленности. На повестке дня — разработка более передовых машин, способных выпускать микросхемы по техпроцессамм 130 и 90 нм. 📀 Отрадно, что в последние годы отечественные компании-разработчики полупроводниковых технологий пользуются разносторонней поддержкой, в том числе в рамках таких важных мероприятий как ежегодные выставки «Микроэлектроника» и премии «Техноход». Приз, вручённый в торжественной обстановке, означает признание коллег и заказчиков, а значит мотивирует на дальнейшие свершения. 📷 На фото: Вручение Приза представителю ЗНТЦ. Изображение: медиа-центр zntc.ru

Фотолитограф

4471 читали · 2 недели назад

Разработка для российского фотолитографа: 15 лет под сукном.

В России разработано множество интересных технологий в области фотолитографии, в том числе уже в текущем веке. Взять, к примеру, эксимерные (газовые) лазеры, на которых построены фотолитографы глубокого ультрафиолета. Именно эти устройства генерируют свет с длиной волны 248 нм (KrF = фторид криптона) и 193 нм (ArF = фторид аргона). Этот свет, проходя сквозь прорези фотошаблона, формирует соответствующий рисунок интегральной схемы на полупроводниковой пластине, покрытой светочувствительным материалом — фоторезистом...

Фотолитограф

1374 читали · 3 недели назад

Китайская фотолитография набирает обороты.

SMEE (Shanghai Micro Electronics Equipment), китайский передовик в области разработки и производства фотолитографических машин, ключевого оборудования в полупроводниковом производстве, неспроста вот уже много лет находится в фокусе мирового интереса. Объясняется это просто: китайцы — единственные представители незападного мира, которые прямо сейчас производят фотолитографы, способные производить микросхемы по 90 нм техпроцессам. Причём делают они это уже несколько лет. Речь идёт о «сухих» машинах, работающих на эксимерных ArF (фторид криптона) лазерах...