Будущее EUV литографии за лазерами на свободных электронах? Реализация концепции источника излучения экстремального ультрафиолета (EUV) на основе лазеров на свободных электронах (ЛСЭ), возможно, гораздо ближе, чем это считалось ранее. Недавно руководитель американской компании SpaceX, Илон Маск, высказался в том смысле, что такой источник излучения — это «круто». Наблюдатели сопоставили это с планами триллионера построить в американском штате Техас крупнейшую в мире фабрику (TeraFab = «терафабрику»...
Фотолитограф
«Спящий режим» EUV фотолитографа.
Вообще-то EUV фотолитограф работы не боится. Эта машина трудится на полупроводниковых фабриках в круглосуточном режиме 7 дней в неделю. Почему так? Тому есть и экономические причины, и сугубо технологические. Если фабрика заплатила за один станок, «печатающий» чипы на полупроводниковых пластинах, от 200 до 450 млн долларов (в зависимости от модификации машины), то неудивительно, что ей хочется «напрячь его по полной», ведь каждая минута простоя влетает в немалую копеечку. Да и технологический процесс не располагает к частым остановкам...
Российские серийные фотолитографы: где они?
Как все мы радовались появлению весной прошлого года первой российской установки совмещения и проекционного пошагового экспонирования, проще говоря — степпера. И ведь было чему радоваться: даже в советские годы в РСФСР такая техника не производилась. Соответственно, научная и инженерная базы в значительной степени также размещались за пределами России, а именно в белорусском холдинге электронного машиностроения, минском «Планаре». Опытную машину «Прогресс СТП-350» (350-нм степпер, работающий на источнике...
Зачем производить процессоры в России, если есть Китай?
Почему бы процессоры, разработанные в России, не производить в Китае? В былые времена российские разработчики, такие как МЦСТ (процессоры «Эльбрус») заказы на производство размещали на мощностях тайваньского контрактного производсителя TSMC. Причины тому понятны: произвести внутри страны микросхемы по достаточно передовым техпроцессам 28 и 16 нм (а именно такие процессоры спроектировал МЦСТ) возможности не было и нет. Самый передовой российский производитель полупроводниковой продукции, зеленоградский...
Неизвестные заказчики EUV фотолитографов.
Долгое время полупроводниковые предприятия, оборудованные фотолитографами экстремального ультрафиолета (EUV), ультрапередовой техникой, позволяющей изготавливать самые высопроизводительные микросхемы, представляли из себя своего рода закрытый клуб из 5 компаний: тайваньской TSMC, южнокорейских Samsung Electronics и SK Hynix, американских Intel и Micron. TSMC специализируется на контрактном производстве (для сторонних заказчиков) логических микросхем. Intel также производит логические микросхемы (процессоры), но прежде всего для себя...

