Фотолитограф

Оптическая система современного EUV фотолитографа, как правило, состоит из 12 зеркал. Если, конечно, речь идёт о машинах с низкой числовой апертурой. В случае с ультрасовременными EUV фотолитографами с высокой числовой апертурой, использующих зеркала гигантского размера (до метра в диаметре), точное количество зеркал до сих пор не разглашается, но по слухам их стало на несколько единиц больше. Разумеется, такие зеркала, как коллектор (первое зеркало системы, расположенное непосредственно возле источника...

А ведь вопрос-то не праздный. Китайский передовик по этой части, компания SMEE (Shanghai Micro Electronics Equipment), уже несколько лет как осилила серийный выпуск фотолитографов по техпроцессам 280, 110 и даже 90 нм (серия«SSA 600»). Эти машины вовсю трудятся на китайских полупроводниковых фабриках. Очевидно, что китайцы в этом вопросе нас значительно опережают. Отечественный разработчик фотолитографов, Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ), готовится в конце текущего года отгрузить свой первый серийный 350 нм степпер (установка совмещения и пошагового экспонирования)...

В такой сложной машине как фотолитограф экстремального ультрафиолета дефицита самых разных драгметаллов не наблюдается по определению. Особой строкой здесь проходит такой симпатичный и дорогой металл платиновой группы, как рутений. В отличие от того же золота, его задачей является не обеспечение надёжности контактов, а защита многослойных зеркал, основы оптической системы фотолитографа (катоптрической). Без зеркал в EUV фотолитографе — никуда. Ведь в нём в качестве инструмента рисования интегральных...

В середине 60-х годов борьба между СССР и США за первенство в области вычислительной техники была в самом разгаре. Американская IBM анонсирует свою передовую ЭВМ, System/360, в 1964 году, а в Советском Союзе опытный образец нашей передовой ЭВМ БЭСМ-6 (разработчик: Институт точной механики и вычислительной техники АН СССР, производитель: Московский завод счётно-аналитических машин) появляется в 1965 году. Сравнивать напрямую эти машины сложно, поскольку советская предназначалась прежде всего для научных расчётов, а американская была более универсальной и широко использовалась в бизнесе...

В полупроводниковом производстве непросто найти этап, на котором бы не использовался гелий. Этот газ попросту незаменим. Конечно, и помимо гелия на полупроводниковых фабриках используется множество технологических газов и специализированных химикатов, но именно гелий востребован одновременно в фотолитографии, травлении, осаждении, ионной имплантации и самых разнообразных процедурах охлаждения. Почему так? Всё дело в уникальных свойствах этого газа: химической инертности, высокой теплопроводности (среди газов уступает только водороду) и малом атомном радиусе...