Фотолитограф

От советского наследия до западных передовиков и российских перспектив. Полупроводниковая промышленность в нашей стране есть, микросхемы выпускаются, а стало быть у нас есть и соответствующие фотолитографы. Но какие? Парк фотолитографов ни количеством, ни разнообразием, к сожалению, не блещет. Вся подобная техника, как на подбор, импортная. И это не удивительно: в советские годы на территории РСФСР фотолитографические машины попросту не производились. Производство было сосредоточено на мощностях минского завода «Планар» и восточногерманского комбината Carl Zeiss Jena...

Особенно если рассмотреть их в увеличительное стекло. Китай уже несколько лет производит собственные фотолитографические машины, ключевое оборудование для производства микросхем. Машины эти невероятно сложны, так что возникает вопрос: как китайцам это вообще удалось? Ведь традиций по части микроэлектроники, уходящих к середине проишлого века, как например у нас, в России, в Китае попросту нет. А традиции имеют значение: когда в прошлом году у нас объявили о выпуске первого в истории современной России...

Собственный путь требует оригинальных решений. Похоже, что в области создания фотолитографа экстремального ультрафиолета наши учёные собираются пойти оригинальным путём. Ведущий российский разработчик технологий EUV фотолитографии, нижегородский ИФМ РАН, активно продвигает идею разработки отечественной машины на ксеноновом источнике излучения. Следует отметить, что мировой монополист в области производства EUV фотолитографических машин, нидерландская ASML, в своё время сделал ставку на лазерно-плазменный источник излучения на основе олова, и в этом преуспел...

Золотые времена американской полупроводниковой фотолитографии. Имя Tropel практически неразрывно связано с одним из наиболее ярких имён в области мировой полупроводниковой фотолитографии: американской корпорацией GCA/David W. Mann. Именно этой американской корпорации в 1977 году первой в мире удалось выпустить степпер, фотолитографическую машину, позволившую принципиально улучшить контрастность изображения, числовую апертуру и точность системы по сравнению с господствовавшими тогда установками проекционного совмещения и контактными фотолитографами...

Cтепперы PAS 2500 g-line и i-line: первые серьёзные успехи. 21 мая 1986 года — первый день работы выставки SEMICON West, проходившей в калифорнийском Сан-Матео. Капитаны мировой полупроводниковой промышленности о новой голландской компании уже знают, однако всё ещё относятся к ней с недоверием. В центре всеобщего внимания — безусловные лидеры тех лет, японские передовики Nikon и Canon. Однако новый степпер ASML PAS 2500/10, хотя по-прежнему является машиной g-line (использует ртутную лампу в качестве...

Ключ к сохранению чистоты оптической системы. Одним из самых красивых металлов нашей планеты по-праву является Палладий (Pd, номер 46): драгоценный серебристо-белый металл платиновой группы. Как и положено драгоценному металлу, с его высокой электропроводностью и коррозионной стойкостью (а в случае с палладием и некоторыми другими металлами и с высокой пластичностью), он нашёл широкое применение не только, и даже не столько в ювелирном деле, сколько в электронной промышленности. Более всего этот...

Возвращение к ксенону как к главной движущей силе EUV фотолитографов. Итак, российский передовик в области EUV фотолитографии, нижегородский Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), взял курс на разработку фотолитографа, работающего на источнике излучения на основе ксеноновой плазмы (длина рабочей волны 11,2 нм). Нижегородцами уже составлена дорожная карта и выполнен соответствующий аванпроект. Эта новость без преувеличения вызвала самый живой интерес во всём мире. Ведь речь...

Без этого оборудования фотолитографы ASML просто заготовки. Мы с большим пиететом относимся к EUV (экстремальный ультрафиолет) фотолитографам. И есть за что: в конце концов самые сложные машины, созданные человеком, заслуживают именно такого отношения. Ведь множество слоёв самых современные микросхем, изготавливаемые по техпроцессам 5, 4, 3, 2 (условных) нанометра, печатаются именно на EUV фотолитографах. Но причём здесь Австрия? Ведь предприятия этой страны, как впрочем и всех прочих европейских...

Оборудование, без которого не может обойтись практически ни один этап полупроводникового производства. Пожалуй, самое распространённое оборудование на полупроводниковых фабриках — это оборудование для очистки пластин. И ведь действительно, мало провести экспонирование пластин или процедуру травления, необходимо обеспечить, чтобы к следующему этапу обработки пластина переходила в чистом состоянии. Поэтому машины очистки встречаются на таких производствах буквально на каждом шагу. А принимая во внимание...

История противостояния единственных в мире производителей иммерсионных фотолитографов: «рабочих лошадок» подупроводниковой промышленности. Первые несколько лет нашего века — время борьбы за мировое лидерство в полупроводниковой фотолитографии между теряющей позиции японской Nikon и завоёвывающей их голландской ASML. Два десятилетия японские оптические гиганты Nikon и Canon, оттеснив на обочину американских передовиков прошлого, GCA и Perkin-Elmer, доминировали на мировом рынке, контролируя до 70% мировых продаж этой техники...

Немцы или американцы? Ответ на этот вопрос не столь очевиден. Кто является поставщиком источника излучения для фотолитографов экстремального ультрафиолета голландской ASML? Напрашивается ответ: немецкий специалист в области лазерной техники Trumpf. И действительно, мы буквально отовсюду слышим, что два основных модуля для EUV литографов: оптическую систему и лазерный источник излучения голландскому агрегатору поставляют немецкие передовики Carl Zeiss и Trumpf. И если в случае с Zeiss это действительно так, то в случае с Trumpf история куда сложнее...

CERCO: забытый герой оптики для фотолитографии. Кто является эксклюзивным поставщиком оптических систем для мирового лидера в производстве фотолитографических машин ASML? Конечно это немецкий Carl Zeiss. Широко известен фирменный голландско-немецкий лозунг «Две компании — один бизнес». Кажется, что так было всегда. Тем более, что в 2017 году ASML приобрела почти четверть Carl Zeiss SMT (Semiconductor Manufacturing Technology), полупроводникового подразделения группы Carl Zeiss AG. Но на самом деле...