Фотолитограф

Поединок между российским ИФМ и японской Rigaku. Оптическая система — один из ключевых модулей фотолитографа экстремального ультрафиолета (EUV). Примечательно, что такие системы являются катоптрическими, то есть состоящими из зеркал. Ведь свет экстремального ультрафиолета (длина волны 13,5 нм) невозможно сфокусировать на полупроводниковой пластине посредством диоптрического объектива (линзы) или катадиоптрического (линзы + зеркала) из-за того, что столь короткие волны полностью поглощаются стеклом...

Неужели американский оказался лучше? Задача фотолитографа — нарисовать узор интегральной схемы на полупроводниковой пластине. Инструментом рисования является световое излучение, причём так было с самого начала использования фотолитографов в полупроводниковой промышленности. Другое дело, что поначалу использовался синий свет, потом обычный ультрафиолетовый, ну а сейчас, в основном, используется свет глубокого и экстремального ультрафиолета. Ведь чем короче волна, тем тоньше рисунок. За синий и ультрафиолетовый...

Прежде чем выяснить, что происходит с наноэлектроникой в России, определимся с тем, что из себя представляют наночастицы и нанотехнологии в целом. Наночастицы — это наноразмерные материалы (от 1 до 100 нм). Для нанотехнологий в России даже существует собственный ГОСТ Р 55416-2013, определяющий нанотехнологии как «совокупность технических методов, применяемых для изучения, проектирования и производства материалов, устройств и систем, включая целенаправленный контроль и управление строением, химическим составом и взаимодействием составляющих их отдельных элементов нанодиапазона»...

350 нм степперы: история и современность. Наконец-то у нас в стране появился свой фотолитограф (ключевое оборудование в производстве микросхем), да ещё какой: шаговая установка совмещения и экспонирования, или попросту степпер. Прошлой весной отличился Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ), который в сотрудничестве с минским «Планаром» и порадовал всех нас этой высокотехнологичной машиной. Радоваться на самом деле есть чему. Ведь раньше микросхемы в нашей стране производились исключительно...

Огромный рынок для продукции электронного машиностроения у нас под боком. Поставлять продукцию российского электронного машиностроения в Китай? Почему бы и нет?! Мы привыкли к тому, что львиная доля электронных гаджетов в нашу страну поступает именно из Поднебесной, но это вовсе не означает, что мы ничего не можем предложить в ответ, кроме нефти и газа. И оборудование для производства полупроводниковой продукции — один из первых кандидатов на роль завоевателя китайского рынка. Стоит подчеркнуть,...

Гонка нанометров распространяется на фоточувствительные матрицы фотокамер. Датчик изображения, исполненный по ультрапередовому 2-х нанометровому техпроцессу, это что-то новенькое. И действительно, этот ключевой микрочип современных цифровых фотоаппаратов и фотокамер смартфонов традиционно производится на куда как более «зрелых» техпроцессах и прекрасно себя при этом чувствует. Ведущие мировые производители таких датчиков: Sony, Samsung и Onsemi,— обычно используют технологические нормы от 90 до 28 нанометров...

Что произошло с застрявшим в Нидерландах оборудованием для российской полупроводниковой фабрики? Одной из самых остросюжетных историй современной российской микроэлектроники вне всякого сомнения является покупка зеленоградской компанией «Ангстрем-Т» полупроводниковой производственной линии у американского производителя процессоров AMD, и многолетнее томление этого оборудования на складах в Нидерландах. История эта долгая и к тому же изобилующая многочисленными сюжетными поворотами. Как водится, начнём с исторического контекста...

Как выиграть бой, но проиграть сражение. В 80-е годы прошлого века японским производителям микросхем удалось обогнать американцев и занять первую ступень мирового полупроводникового Олимпа. Японская «большая шестёрка»: NEC, Toshiba, Hitachi, Fujitsu, Mitsubishi и Panasonic, — в это время контролировала более половины мирового полупроводникового рынка. Американцам, которые первыми изобрели и транзистор, и интегральную схему, было очень обидно. Пока японские производители фокусировались на производстве...

Столики для пластин на магнитной левитации, разгоняющиеся быстрее истребителя, — это уже реальность. Какие узлы являются ключевыми в современных фотолитографах? Очевидно, это источник ультрафиолетового излучения и оптическая система. В этом суть фотолитографа: перенести с помощью оптической системы рисунок интегральной схемы с фотошаблона на полупроводниковую пластину. Инструментом рисования здесь является ультрафиолетовый свет, генерируемый источником излучения. Эта машина работает так красиво,...

Чьи компоненты будут использоваться в российских фотолитографах? Ведущее российское предприятие по разработке передового отечественного фотолитографа экстремального ультрафиолета, нижегородский ИФМ (Институт физики микроструктур) РАН, в прошлом году порадовал созданием экспериментального стенда для изучения характеристик «мощных лазерно-плазменных источников ЭУФ излучения». Проще говоря, это самый настоящий прототип источника EUV фотолитографа нового поколения, работающего на световой волне длиной 11,2 нанометра...

Ключевые направления развития этих важнейших материалов полупроводникового производства. Уровень выхода годных чипов с пластины — важнейшая характеристика полупроводникового производства. За повышение этого показателя идёт непрекращающаяся борьба. И это понятно: стоимость производственного оборудования, материалов и электроэнергии, используемых при производствае чипов, настолько высока, что каждый процент оборачивается заработанными или, напротив, потерянными миллионами долларов. Чем более передовые...

Хотя новейшие EUV машины с высокой числовой апертурой уже поставлены. Ведущие полупроводниковые фабрики мира разворачивают массовое производство логических чипов по ультрапередовым 2 нм техпроцессам. Новых имён в недлинном списке мировых передовиков нет: тайваньская TSMC, южнокорейский Samsung Electronics и американский Intel. Разве что японский Rapidus старается растолкать локтями многолетних лидеров рынка, однако пока только на уровне пилотного производства. С помощью каких фотолитографов эти фабрики...