Виленская губерния образована 14 декабря 1795 года. Губернский город — Вильна. Образована в 1795 году. Губерния входила в состав Виленского, Ковенского и Гродненского генерал-губернаторства. Имела разделение на 11 уездов; Браславский (с 1836 г. — Новоалександровский), Виленский, Вилькомирский, Завилейский (с 1842 г. — Свенцянский), Ковенский, Ошмянский, Россиенский, Трокский, Тельшевский, Упитский ( с 1836 г. — Поневежский) и Шавельский. 8 августа 1796 года Виленская губерния была преобразована в Виленское наместничество. В 1797 году Виленское наместничество было объединено со Слонимским наместничеством в Литовскую губернию, с губернским правлением в городе Вильно. 9 сентября 1801 года Литовская губерния была разделена на Литовско-Виленскую и Гродненскую (бывшую Слонимскую) губернии. В 1840 году Литовско-Виленская губерния была переименована в Виленскую. В 1842 году из семи западных уездов губернии была образована Ковенская губерния. В составе Виленской губернии остались всего 4 уезда: