В таблице характеристик подложек из арсенида галлия есть строка «плотность дислокаций, см-2». Получается, что плотность, которая обычно характеризует массу в объеме, почему-то теперь стала в штуках на единицу площади. Разбираемся, почему так.
Зачем выращивать монокристаллы?
Для применений структура кристаллов и подложек должна быть однородной и предсказуемой. Поэтому и выращивают монокристаллы. Большой цилиндр арсенида галлия представляет собой единое целое: кристалл, в котором атомы выстроены строго регулярно в кристаллической решетке.
Что такое дислокации в кристалле?
Дислокация — это дефект кристалла, при котором нарушается регулярность кристаллической решетки.
При краевой дислокации в регулярную структуру атомов встраивается еще один лишний слой — незаконченная полуплоскость, как на рисунке:
При винтовой дислокации происходит сдвиг части атомов:
Как понять, есть ли в кристалле дислокации?
Чтобы визуализировать дефекты кристалла, поверхность протравливают, нанося растворитель. Скорость травления поверхности в местах выхода дислокаций на поверхность гораздо выше, чем в других точках кристалла.
В местах дислокаций возникают ямки. Их можно посчитать под микроскопом и получить количество на см2.
Выход дислокаций на поверхность германиевой подложки с кристаллографической ориентацией (111)
500 дислокаций — это много или мало?
Метод химического травления подходит для плотности дислокаций до 107. В наших подложках их не более 500 на квадратный сантиметр!
ЛАССАРД производит полупроводниковые монокристаллы и подложки.
Наши контакты:
📱Сайт
👥 ВК
🏭 Наше производство и шоурум: ОЭЗ «Технополис Москва», 109316, Россия, Москва, Волгоградский проспект, д. 42, корп. 5, пом. 1Н
📞 Наш телефон: +7 495 120 68 86