Точное определение концентрации железа очень важно, поскольку железо является одним из наиболее распространенных, а также наиболее вредных дефектов в кремнии. Следовательно, необходимо измерять концентрацию железа как можно точнее и быстрее, с очень высоким разрешением и предпочтительно прямо на линии производства.
С помощью наших измерителей серии MDP открывается возможность измерения концентрации железа в брусках и пластинах с высокой автоматизацией и разрешением.
Измерение времени жизни до и после диссоциации пары бор-железо является широко используемым методом определения железа в кремнии. В кремнии, легированным бором в высокой концентрации, поскольку он используется для фотоэлектрических применений, почти 100% электроактивного железа присутствует в виде FeB пар. При достаточной энергии облучения эти пары могут быть диссоциированы в Fei и B. Данный процесс обратим и через некоторое время все пары FeB снова связываются. FeB и Fei имеют разные рекомбинационные свойства, поэтому диссоциация влияет на измеряемое время жизни. Учитывая данный эффект, концентрация железа может быть рассчитана по следующей формуле:
Для определения железа используется калибровочный фактор C, который зависит от инжекции, концентрации легирующего компонента и концентрации фазовых ловушек, что особенно должно учитываться при анализе поликристаллического кремния. Благодаря измерителям MDP определение концентрации железа возможно как в поли-, так и в монокристаллическом кремнии с высоким разрешением и высокой точностью.
Прибор для определения времени жизни носителей эпитаксиальных кремниевых тонкопленочных слоев
