Ученые из ИХТЦ ТГУ впервые в стране выпустили первую партию дигидрата тартрата натрия для микроэлектроники. Производительность установки – несколько сотен килограммов вещества в год. Вложения в проект оцениваются в 150 млн рублей. Дигидрат тартрата натрия играет важную роль на одном из самых точных и ответственных этапов производства – химико-механической планаризации (ХМП или CMP). Современные микропроцессоры и чипы памяти состоят из множества слоев, соединенных между собой микроскопическими медными проводниками...