Фотолитография — метод получения определенного рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике. Фотолитограф — оборудование для получения определенного рисунка на поверхности материала, который широко используется в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также при производстве печатных плат и полупроводниковых приборов. В начале этого года Минпромторг заказал разработку и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства, выделив на эти цели из бюджета 1,1 млрд руб...

Что такое фотолитограф экстремального ультрафиолета (EUV)? Есть популярное в среде электронщиков метафорическое определение: «это свет и зеркала». Красиво, даже романтично. Впрочем, к передовым фотолитографам глубокого ультрафиолета (DUV) это определение тоже применимо. Ведь в объективах таких машин зеркала, как правило, тоже присутствуют (в дополнение к линзам): это позволяет уменьшить искажения и сделать оптическую систему более компактной. ...