Уже почти полвека в производстве фотолитографов доминируют две компании: японская Nikon и нидерландская ASML. Если в конце минувшего века первое место в мировой табели о рангах было за японским оптическим передовиком, то в веке текущем Nikon был смещён с почётного места голландским конкурентом. Но как бы там ни было, именно эти две компании и тогда, и сечйчас, задавали и продолжают задавать тон всей мировой полупроводниковой промышленности. И никаких признаков того, что в ближайшие годы что-то в этом плане изменится, не наблюдается.
Однако подходы к делу у этих производителей принципиально разные. Если японцы прежде всего рассчитывают на собственные силы, то голландцы организовали самый настоящий интернационал. Возьмём ключевые модули любой фотолитографической машины: оптичекую систему и источник излучения. Nikon оптику делает сам. Что, впрочем, неудивительно. Было бы странно, если бы один из признанных мировых передовиков оптической промышленности передавал эту задачу на сторону.
Объективы (и линзы к ним) производятся на фабрике Nikon Precision Tochigi. Ну а заготовки плавленого кварцевого стекла высокой чистоты для этих линз поступают с другой фабрики, Nikon Precision Miyagi. ASML линзы, и тем более плавленый кварц, сама не производит. Объективы и линзы для них производит немецкая компания Carl Zeiss SMT, а стеклянные заготовки, как правило, поступают с фабрик американской компании Corning.
С источниками излучения ситуация схожая. Нет, Nikon их сам не производит, но заказывает их, как правило, у японского производителя, компании Gigaphoton. ASML в своих DUV (глубокий ультрафиолет) фотолитографах прежде всего использует лазерные источники излучения американской компании Cymer. Следует отметить, что и Cymer, и Carl Zeiss SMT были куплены ASML (Carl Zeiss SMT частично). В случае с фотолитографами предыдущих поколений, использующих в качестве источников ультрафиолетового излучения не лазеры, а ртутные лампы, предпочтения ASML и Nikon совпадают: и та, и другая компания активно пользуются лампами производства японской Ushio.
К мехатронике подход разный. Nikon роботизированные загрузчики и столики для пластин производит самостоятельно, на фабрике Nikon Precision Miyagi. ASML доверяет производство роботов-манипуляторов голландской компании VDL-ETG, а вот столики для пластин производятся в Германии, на мощностях бывшей компании Berlin Glas (после её покупки ASML сменила название компании на ASML Berlin).
Конечно, в японском подходе есть свои преимущества: в конце концов заказчик приобретает «настоящую» японскую технику, произведённую преимущественно из японских компонентов японскими руками. Да и эти самые компоненты у Nikon всегда под рукой, что в нашу эпоху геополитических потрясений совсем нелишне. С другой стороны, японцам этот подход не особенно помог. По оценкам отраслевых экспертов ASML сейчас контролирует свыше 90% мирового рынка фотолитографов и 100% рынка ультрапередовых машин экстремального ультрафиолета (EUV), справиться с которыми Nikon так и не сумел.
А каков наш подход в столь непростом деле, как разработка и производство фотолитографов? И локальный, и международный одновременно. Ведь наши фотолитографы — продукт совместного труда передовика ещё советского электронного машиностроения, минского «Планара» и российского Зеленоградского нанотехнологического центра.
Статью про российские и зарубежные 350 нм фотолитографические степперы можно прочитать в премиум-разделе канала «Фотолитограф»: