350 нм степперы: история и современность. Наконец-то у нас в стране появился свой фотолитограф (ключевое оборудование в производстве микросхем), да ещё какой: шаговая установка совмещения и экспонирования, или попросту степпер. Прошлой весной отличился Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ), который в сотрудничестве с минским «Планаром» и порадовал всех нас этой высокотехнологичной машиной. Радоваться на самом деле есть чему. Ведь раньше микросхемы в нашей стране производились исключительно на импортных фотолитографах: те, что попроще, на технике белорусского «Планара», ну а те, что посложнее — преимущественно с помощью фотолитографов нидерландской ASML, мирового лидера по этой части. В степпере рисунок интегральной схемы, расположенный на фотошаблоне, многократно уменьшается и экспонируется на пластину (при помощи объектива). На пластине уменьшенный рисунок занимает только небольшую часть её площади. Затем столик с пластиной перемещается и процесс повторяется. Скучать ЗНТЦ се
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум