России удалось сделать лучший в мире фотолитограф.
Это может показаться неожиданным, но между тем дела обстоят именно так, если мы говорим о выпущенном в этом году Зеленоградским нанотехнологическим центром первом российском фотолитографе (степпере, работающем с источником излучения, генерирующем 365 нм ультрафиолетовые волны). Такие машины традиционно работают с техпроцессами производства микросхем по топологическим нормам 350 нанометров. На Западе подобная техника (классифицируется как i-line) появилась 40 лет назад. Лидеры фотолитографического...