В России разработано множество интересных технологий в области фотолитографии, в том числе уже в текущем веке. Взять, к примеру, эксимерные (газовые) лазеры, на которых построены фотолитографы глубокого ультрафиолета. Именно эти устройства генерируют свет с длиной волны 248 нм (KrF = фторид криптона) и 193 нм (ArF = фторид аргона). Этот свет, проходя сквозь прорези фотошаблона, формирует соответствующий рисунок интегральной схемы на полупроводниковой пластине, покрытой светочувствительным материалом — фоторезистом.
Сейчас в мире всего три компании производят эту сложнейшую технику: американская Cymer (принадлежит голландскому производителю фотолитографов ASML), японская Gigaphoton и китайская RSLaser. Но оказалось, что в России подобная техника также разработана и уже в текущем году ожидается начало её серийного производства. Отличилась группа компаний «Лассард», точнее сказать одна из компаний, входящая в эту группу: «Оптосистемы» (располагается в Троицке, городском округе Москвы, центре лазерной техники страны ещё с советских времён). В этом году планируется начать установку 248 нм лазеров на фотолитографы, предназначенные для производства микросхем по 130 нм техпроцессам, которые совместно разрабатываются Зеленоградским нанотехнологическим центром и минским заводом «Планар».
Ну а в ближайшем будущем ГК «Лассард» развернёт производство и более современных 193 нм лазеров для 90 нм фотолитографических машин. Что примечательно, эксимерные лазеры появились у нас вовсе не на ровном месте. Ещё пятнадцать лет назад компанией «Оптосистемы», в рамках российско-белорусской программы, было сделано два макета. К сожалению, дело тогда дальше не пошло. Но в наши дни, получив госфинансирование, «Лассард» семимильными шагами двинулся вперёд.
Насколько велика потребность в таких лазерах на фоне относительно скромного размера электронной промышленности России и Белоруссии? Здесь интересной выглядит идея сотрудничества с Китаем. Учитывая огромные потребности этой страны в фотолитографах, российский производитель мог бы предложить свои лазеры не только российским заказчикам, но и китайским. Ведь Поднебесная делает ставку на замещение западных фотолитографов своими, китайскими. Здесь главное добиться, чтобы нашей технике был предоставлен справедливый доступ к китайскому рынку. Здоровая конкуренция пойдёт на пользу всем.
Взять те же Cymer и Gigaphoton. Они занимают примерно одинаковые доли мирового рынка. При этом японский Gigaphoton вовсю поставляет свои лазеры в ASML, хотя принадлежащий голландцам Cymer вполне мог бы закрыть все потребности ASML собственными силами. И наоборот, Cymer вовсю поставляет свою технику японскому производителю фотолитографов Nikon, конкурируя с Gigaphoton.
Так что если Китай хочет получать наши нефть, газ и прочие ресурсы, продавая нам при этом продукцию своего машиностроения, было бы справедливо, чтобы он, в свою очередь, широко распахнул двери на свой рынок для продукции нашего электронного машиностроения. Будем надеяться, что так и будет.
Какие фотолитографы сейчас работают в России? Читайте статью в премиум-разделе канала «Фотолитограф»: