От советского наследия до западных передовиков и российских перспектив. Полупроводниковая промышленность в нашей стране есть, микросхемы выпускаются, а стало быть у нас есть и соответствующие фотолитографы. Но какие? Парк фотолитографов ни количеством, ни разнообразием, к сожалению, не блещет. Вся подобная техника, как на подбор, импортная. И это не удивительно: в советские годы на территории РСФСР фотолитографические машины попросту не производились. Производство было сосредоточено на мощностях минского завода «Планар» и восточногерманского комбината Carl Zeiss Jena. Фотолитографы в Йене перестали производить практически сразу же после поглощения этого предприятия своим западногерманским собратом. А вот белорусское предприятие и по сей день серийно выпускает такие машины. Поэтому степперы, производящие микросхемы по очень зрелому техпроцессу 800 нм, пожалуй, являются самыми распространёнными фотолитографами в нашей стране. Ведь по заявлению самого «Планара», количество таких машин, по
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум