Шаблоны для фотолитографии будут производиться из отечественных заготовок из высокочистого кварцевого стекла. Зеленоградская компания «Технологии кварцевых кристаллов» представила свою продукцию на недавно прошедшей в Сочи выставке «Микроэлектроника-2025».
Производство стекла развёрнуто зеленоградской компанией в этом году, на мощностях недавно построенного специализированного завода в Солнечногорске, на территории индустриального парка «Есипово».
Фотолитограф — машина, проецирующая рисунок интегральной схемы с фотошаблона на полупроводниковую пластину. Так что можно сказать, что фотолитограф без фотошаблона — что видеомагнитофон без кассеты.
Отрадно, что у нас в стране заблаговременно озаботились импортозамещением по этой части. Ведь первый фотолитограф у нас уже появился. В следующем году должны выпустить ещё одну, более передовую машину. Так что способность производить свои шаблоны придётся как нельзя кстати.
Фотошаблон предствляет из себя трафарет, через «прорези» пропускающий свет, генерируемый источником излучения. В результате на покрытой светочувствительным материалом (фоторезистом) пластине формируется соответствующий рисунок.
В ультрасовременных фотолитографах экстремального ультрафиолета фотошаблон представляет из себя зеркало с нанесённым рисунком, который свет не пропускает, а отражает. Однако заготовки для изготовления шаблонов нужны для любых фотолитографических машин.
Ведущими мировыми производителями заготовок являются японские стекольные гиганты AGC и Hoya. По части изготовления самих фотошаблонов на ооснове этих заготовок лидируют опять же японские компании Tekscend Photomask и Dai Nippon Printing.
Производство самих фотошаблонов в России тоже уже налажено. Отличились Зеленоградский инновационно-технологический центр (ЗИТЦ) и нижегородский НИИ им. Ю. Е. Седакова. В общем, шаг за шагом отечественная фотолитография движется вперёд.
Статью про разработку российского EUV фотолитографа на основе ксенона можно прочитать в премиум-разделе канала «Фотолитограф»: