Разработка Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) первого в истории новой России фотолитографа (степпера), способного печатать микросхемы по техпроцессу 350 нм, вызвала немалую радость у неравнодушной к отечественной микроэлектронике общественности. И дело здесь не столько в заявленном техпроцессе, сколько в самом факте создания этой машины. Ведь после распада СССР эти ключевые для полупроводниковой промышленности установки на территории России не производились. Это же сколько лет прошло! В общем, повод порадоваться после столь большого перерыва действительно налицо.
Следует отметить, что и в советские времена подобные установки в РСФСР не изготавливались. Единственным производителем в те годы был белорусский завод «Планар». Минское предприятие ведёт свой отсчёт с 1962 года, когда оно было основано Министерством электронной промышленности СССР в качестве Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ). На базе этого бюро в 1971 году и было основано Научно-производственное объединение «Планар».
Такая «монополия» в те годы была обычным делом: страна была единой. Поэтому в подмосковном Зеленограде производили машины травления и осаждения (НИИ точного машиностроения), в Воронеже установки нанесения и проявки фоторезиста (НИИ полупроводникового машиностроения), ну а в Минске — «оборудованиедля фотолитографических процессов и сборочных операций при производстве интегральных схем».
Но вот СССР распался, и оказалось, что ряд важнейших предприятий полупроводниковой промышленности некогда единой страны оказались за границами России. Благо что «Планар» оказался на территории братской Белоруссии, и к тому же белорусское руководство сумело это предприятие сохранить и даже развить. А вот судьба знаменитого некогда на всю страну Рижского завода полупроводниковых приборов (именно в его стенах была изобретена первая советская интегральная схема) оказалась далеко не столь завидной. Если, конечно, не считать предметом для зависти крупнейший в Латвии торговый центр, построенный на территории некогда флагмана советcкой микроэлектроники.
Но вернёмся к нашему российскому фотолитографу: в ЗНТЦ его называют СТП-350-1 (СТП = степпер). Как российскому предприятию удалось «с нуля» создать такую сложную машину? Всё становится на свои места в момент, когда мы узнаём, что эта установка — совместная разработка ЗНТЦ и белорусского «Планара». И это хорошо и правильно. Потому что построить в чистом поле завод и где-то найти специалистов, которых в стране никогда не готовили, задача практически неразрешимая. А взять за основу белорусскую разработку, модифицировать ряд узлов (увеличить площадь рабочего поля и диаметр обрабатываемых пластин) — самое то. Особенно в обстоятельствах, когда время не ждёт.
Следует отметить, что кооперация, когда речь идёт о таких сложнейших машинах как фотолитографы, дело совершенно обычное. Возьмём для примера мирового лидера, голландскую ASML. Оптику для её машин поставляет немецкий Carl Zeiss, лазерные установки — немецкий Trumpf и американский Cymer, вакуумные насосы — британский Edwards, модули управления движением масок и пластин — американская ASML Wilton. Причём ряд компаний — независимые (Trumpf, Edwards), а ряд приобретены ASML (Cymer, ASML Wilton и частично Carl Zeiss SMT). И это только несколько имён из очень длинного списка поставщиков.
Обкатку голландские машины проходят, как правило, на мощностях профильного бельгийского института IMEC. Наш фотолитограф прошёл испытания непосредственно в ЗНТЦ. Так что скажем спасибо и сотрудникам ЗНТЦ, и сотрудникам «Планара», и выразим надежду, что через несколько лет значительная часть потребностей отечественной полупроводниковой промышленности в фотолитографической технике будет удовлетворяться нашими серийно выпускаемыми машинами. А будут они российско-белорусскими или белорусско-российскими, в конце концов не так уж и важно.
❗ Для знатоков и любителей микроэлектроники, полупроводниковой промышленности и фотолитографии: заходите в премиум-раздел канала «Фотолитограф».