Голландская компания ASML всего несколько месяцев назад выпустила первую в мире литографическую машину с высокой числовой апертурой (High-NA), а теперь стало известно, что эта громоздкая установка размером с автобус уже начала бить рекорды. Руководство компании объявило, что ими установлен новый рекорд плотности при изготовлении чипов, который знаменует многообещающий старт для устройств следующего поколения, стоимость которого, как сообщается, составляет около 400 миллионов долларов.
На конференции ITF World 2024, организованной исследовательским институтом imec, компания ASML продемонстрировала свою машину High-NA, согласно информации от Tom's Hardware. Инженеры компании продемонстрировали свои текущие достижения и озвучили планы на будущее. На выставке было объявлено, что установка High-NA успешно достигла 8-нм плотности на пластине, превзойдя свой предыдущий рекорд – линии шириной 10 нанометров, установленный в начале апреля.
Для сравнения: обычные машины с экстремальным ультрафиолетовым излучением (EUV) или машины с низким NA, способны производить элементы размером около 13,5 нм, поэтому скачок до 8 нм является значительным достижением. ASML также анонсировала новую установку "hyper-NA", которая позволит достичь еще большей плотности, но отметила, что это станет возможным только к 2033 году.
Intel является единственным владельцем первой литографической машины ASML с высокой числовой апертурой, которую она будет тестировать в течение всего 2024 года, а возможно, даже в 2025 году.
Презентация ASML свидетельствует о том, что компания идет по пути достижения высокой NA и что новая машина, скорее всего, будет соответствовать заявленным спецификациям. ASML, безусловно, надеется, что подобные заявления убедят всех производителей микросхем приобрести новую установку, поскольку на данный момент ее приобрела только Intel. Новое оборудование уже работает на заводе Intel в Орегоне, но она не будет производить коммерческие чипы, по крайней мере, еще год или два. Intel заявила, что впервые применит ее для своего будущего техпроцесса Intel 14A, который может дебютировать примерно в 2026 году.
Поскольку большинство производителей чипов по-прежнему используют обычные EUV, или low-NA, компания ASML также объявила о планах по снижению стоимости установок EUV за счет значительного увеличения скорости производства. Бывший президент и технический директор компании заявил на конференции, что ASML планирует увеличить скорость изготовления пластин до 400-500 пластин в час на EUV по сравнению с существующими 200 пластинами в час. Однако пока неизвестно, когда эти машины поступят в продажу.
