Российские ученые работают над тем, чтобы создать собственный национальный литограф, чтобы обеспечить суверенитет в данном направлении. И вот стало известно, что уже в 2026 году в Сарове будет показана так называемая альфа-машина – первая демонстрационная установка, на которой будет проверена сама технология, и отработаны все рабочие процессы. А в ближайшие пять лет ученые планируют промышленную версию для предприятий.
Об этом, безусловно, отличном событии сообщили представители Национального центра физики и математики (Саров).
При этом ученые особо подчеркивают, что сразу же техпроцесс 28-нм доступен не будет. Как рассказывает научный руководитель Национального центра физики и математики, академик РАН Александр Сергеев, необходимо время, чтобы достичь уровня в 28-нм. При этом отмечается, что повышение не будет достигаться за счет внедрения других технологий. Технологии будут продемонстрированы сразу же в 2026 году. А достигаться все будет в первую очередь за счет оттачивания работы с оборудованием.
При этом А. Сергеев отмечает, что отличным результатом будет, если на первом этапе получится продемонстрировать 90 нанометров, которые, конечно, есть уже сейчас, но уже будут показаны в слаженной работе всех систем.
И да, не удивляйтесь. И 190, и 90, и 65 нм техпроцессы можно получать на одном и том же оборудовании, и это подтверждает мировая практика.
Я же хочу отметить, что наши специалисты планируют достичь довольно высокого уровня за очень сжатые сроки. Ведь через два года у нас будет рабочий литограф, а всего через три года технология будет хорошо отточена. А так как уже сейчас говорится о промышленных образцах, то в это же самое время будет идти процесс сокращения брака.
Каковы перспективы российской литографии
До этого еще в Минпромторге сообщали о том, что литографы в России станут производить уже в 2024 году, но для топологии 350 нанометров. А оборудование для топологии 130 нанометров уже в 2026 году.
Заместитель Минпромторга РФ В. Шпак отмечает, что технологии 45 нм и ниже в большинстве случаев нужны для производства процессоров и памяти, а это только 10-15% рынка. А на диапазон топологических размеров от 350 до 65 нм приходится остальная часть. Так что развитие идет поступательно и все согласно плану.
