Российский EUV-фотолитограф: прорыв в нанотехнологиях уже здесь
В условиях глобальных технологических ограничений Россия столкнулась с острой необходимостью создания собственного оборудования для производства современной микроэлектроники. Ответом на этот вызов стала разработка перспективного отечественного EUV-фотолитографа, который, вместо копирования западных решений, предлагает уникальный и элегантный научно-технический подход. Экстремальная ультрафиолетовая (EUV) литография — это ключевая технология для производства передовых микропроцессоров с топологическими нормами менее 7 нм...