Буквально на днях где-то в Нидерландах инженер ASML потянул рубильник и все присутствующие затаили дыхание. Эта сцена не из какого-то фильма, а из реальной жизни, про голландскую компанию ASML, которая производит самое передовое в мире оборудование для литографии. В лаборатории этой компании инженер по оборудованию запустил первую в своем роде машину с высокой числовой апертурой, чтобы убедиться, что она работает правильно. Intel также принимала участие в этом событии, поскольку стала первым в мире производителем чипов, разместившим заказ на такую установку. После завершения тестирования, обе компании совместно объявили об успешном достижении "первого света" на литографическом сканере High-NA. Это переломный момент для полупроводниковой промышленности и начало новой эры производства чипов.
Об этом стало известно на этой неделе после того, как ASML объявила о достижении «первого света» с использованием своей новой установки High-NA, а это означает, что она функционирует правильно, но еще поступит на производство. По данным Reuters, Intel также подтвердила эту новость в ходе обсуждения на технологической конференции. В настоящее время в мире существует только две машины с высокой числовой апертурой: одна находится в Нидерландах на предприятии ASML, а другая собирается на заводе Intel в Орегоне. Достижение «первого света» означает, что источники света и зеркала машины были правильно выровнены, чтобы сфокусировать их на пластине, согласно разъяснению ASML.
Этот сканер TWINSCAN EXE:5000 дает представление о том, насколько сложны эти машины в собранном виде. Фото: ASML
Новые станки, получившие название Twinscan EXE:5000, являются значительным шагом вперед в развитии литографии. Они могут достичь разрешения однократной экспозиции 8-нм по сравнению с 13,5-нм в существующих системах EUV, что уменьшает количество проходов, необходимых для изготовления маски, тем самым увеличивая выпуск пластин и снижая вероятность возникновения дефектов за счет меньшего количества экспозиций. Ожидается, что в ближайшие годы эти новые машины с высоким числом апертур станут новым стандартом для производства передовых микросхем. Однако Samsung и TSMC пока не приняли решение о их внедрении, поскольку это требует переоборудования существующих фабрик для размещения источников света таких установок, а сами они, по сообщениям, стоят почти 400 млн долларов каждая.
Сообщается, что Intel собирает свою первую машину с высокой числовой апертурой в Орегоне и уже заявила о планах запустить ее в производство с приходом техпроцесса Intel 4A в 2026 году. До этого момента компания будет тщательно собирать каждый компонент этого гигантского аппарата, от вида инструкции которого захватывает дух. Сообщается, что TSMC планирует использовать существующее оборудование EUV с низкой числовой апертурой для своих 2-нм и 1,4-нм техпроцессов, а затем перейти на High-NA, когда дойдет до 1-нм через много лет. Это может дать Intel значительное преимущество в ее усилиях по свержению TSMC с ее позиции лидера в литейном бизнесе. Однако это при условии, что Intel сможет заставить его работать правильно и с удовлетворительной доходностью через несколько лет.