Научный руководитель Национального центра физики и математики, академик РАН Александр Сергеев в беседе с ТАСС рассказал, что через пять лет в России появится первый отечественный литограф для микросхем.
По словам Александра Сергеева, первый образец отечественного литографа появится в течении двух лет.
Также академик рассказал, что задача литографа в том, чтобы показать, что все составляющее технологии работает вместе, он добавил: "Это и источник рентгеновского изучения, и рентгеновская оптика, которая правильным образом проецирует на фоторезисте, это и фоторезисты, и система позиционирования с нанометровой точностью".
