Специалисты научно-производственного предприятия «Салют» научились создавать высокочистые газы, используемые при производстве электронных компонентов. До этого момента в стране не было технологий получения многих специальных газов, поэтому использовались импортные. Какие газы теперь будут производить в России и как это повлияет на отечественную микроэлектронику, расскажем в статье.
Промышленное производство
Газы высокой степени чистоты нужны для изготовления полупроводниковых приборов. Иногда требуется до нескольких десятков различных газов. Среди них как обычные, например, кислород, водород, аргон, так и редкие и даже токсичные — фтор, трехфтористый азот или бор.
Благодаря технологии научно-производственного предприятия «Салют» (холдинг «Росэлектроника») в России появилось промышленное производство 6 сверхчистых газов — моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого и треххлористого. Продукция «Салюта» заменит зарубежные материалы.
«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль… Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем», — рассказал исполнительный директор госкорпорации «Ростех» Олег Евтушенко.
Отечественный IT-проект SFERA реализует амбициозную идею по созданию цифровой экосистемы для развития. Релиз уже скоро. Скачивайте раннюю версию приложения в AppStore и Google Play. Спасибо за доверие.
Высокие российские технологии
Немаловажным фактором после создания сверхчистых газов является сохранение уровня их чистоты при транспортировке. Для этого сотрудники предприятия предложили подготавливать баллоны перед наполнением специальным образом.
Благодаря этому удастся поддерживать необходимый уровень чистоты газов несколько месяцев в зависимости от давления в баллоне. Так, газы в баллонах низкого давления сохраняют чистоту не менее 6 месяцев, высокого — не менее 12.
В баллонах низкого давления НПП «Салют» поставляет арсин, фосфин и бор трехфтористый. Смеси газов определенного состава поставляются в баллонах высокого давления.
«Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства. Кроме того, в настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», — отметил генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.
Газы высокой степени чистоты нужны на каждом этапе технологического процесса. С запуском производства сверхчистых газов Россия заменит зарубежную продукцию и сможет выводить на рынок востребованные высокотехнологичные продукты.
Благодарим за интерес к нашему каналу! Подпишитесь и поставьте лайк!
Читайте также:
Материал создан при поддержке проекта SFERA
