В это сложно поверить скептикам, но, по мнению специалиста, Россия сможет сделать рабочий прототип литографического сканера в течение нескольких лет без громадных вложений в исследования, так как ключевые технологии в России уже имеются. И даже более того: установка окажется в разы мощнее аналогов от ASML. Разумеется, для этого придется плотно поработать сразу нескольким высококлассным коллективам, и найти их не составит труда, нужно лишь грамотно всё организовать. Подробнее о необходимых ресурсах расскажем далее.
3 ключевые технологии
Крупный российский ученый, научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ), академик и бывший президент РАН Александр Сергеев заявил, что при тесной коллаборации отечественных коллективов можно разработать рентгеновский литограф для создания чипов через 2-3 года.
Мировым лидером в данной сфере является нидерландская компания ASML, которая использует особую технологию: олово испаряется при помощи лазера, и рентгеновское излучение получившейся плазмы используется для фотолитографии. Сергеев предлагает альтернативный метод:
«… мы будем использовать для фокусировки этого излучения рентгеновские зеркала, которые разработаны в Институте прикладной физики РАН и в Федеральном ядерном центре в Сарове, а также разработки Института им. Седакова. Если соединить эти три разработки, то мы получим литографическую систему с мощностью, которая в разы превосходит те, что делает ASML».
Кратко суммируя предложенное академиком Сергеевым, можно вывести следующие ключевые технологии, которые будут использованы при разработке литографического оборудования:
1. В первую очередь ученые хотят сделать лазер, который будет иметь большую среднюю мощность, чем у конкурента.
2. В российской установке вместо олова будет применяться иное рабочее тело. Сейчас его созданием занимается РФЯЦ-ВНИИЭФ.
3. Третья технология — это, соответственно, упомянутые рентгеновские зеркала.
В технологическом отношении Россия оказалась в уникальном положении, ни одна страна в мире не располагает ничем подобным. И недавние тезисы академика — вовсе не пустые слова, так как демонстратор технологии был представлен еще в 2012-м году.
IT-проект SFERA — один из самых ярких и амбициозных в России. Компания разрабатывает многофункциональное мобильное приложение, релиз которого совсем скоро. Подробнее читайте по ссылке. Скачивайте приложение в раннем доступе здесь. Спасибо!
Особенность отечественной концепции
Сегодня самый передовой в мире технологический процесс работает в экстремальном ультрафиолетовом спектре с длиной волны 13,5 нм, что является границей рентгеновского спектра. Этими разработками также занимались российские исследователи еще в 2010-х годах, соответственно, вполне возможно, что нынешний проект пойдет в этом плане еще дальше. В таком случае российская микроэлектроника сразу же поднимется на острие мирового развития.
В связи с этим стоит затронуть еще одно направление — создание безмасочной литографии, которая в России также прорабатывается уже в течение многих лет. Так, например, результаты работы над оборудованием на 13,5 нм дали толчок ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ для старта разработок фотолитографа на принципиально новых принципах безмасочной фотолитографии с использованием динамической маски.
Весной текущего года МИЭТ заключил контракт с Минпромторгом на создание концепции безмасочного устройства с длиной волны 13,5 нм и меньше. Сложное оборудование позволит в массовом порядке выпускать самые современные полупроводники. Безмасочные литографы будут в десятки раз эффективнее существующих сейчас масочных. И во столько же раз дешевле!
В дальнейшем для развития литографии понадобится настолько мощное излучение, что лазер будет не способен его обеспечить, поэтому придётся пристраивать к литографическим сканерам ускорители частиц. А это снова хорошо знакомая России область, где она обладает наиболее передовыми технологиями.
На основании сказанного будущее России в области литографии представляется весьма оптимистичным. Будем следить за развитием индустрии и своевременно сообщать о новинках!
Подпишитесь и поставьте лайк! Спасибо!
Читайте также:
Материал создан при поддержке проекта SFERA