1 месяц назад
Исследование возможности контроля роста тонких слоев меди, осажденных магнетронным распылением на постоянном токе
В статье исследуется, как толщина тонких медных плёнок (54–853 нм), полученных магнетронным распылением (PVD), влияет на их структуру и свойства. Установлено три стадии роста: при толщине до 200 нм формируются отдельные островки, а выше 600 нм начинается активный рост кристаллитов, при этом шероховатость линейно растёт во всём диапазоне. Удельное сопротивление резко падает до 2 мкОм·см при толщине 400 нм, после чего почти не меняется, а коэффициент отражения на границах зёрен оценён в 0,6 на основе модели Фукса-Сондхеймера и Маядаса-Шацкеса...
