Продолжение поста «Технологии: "Фотолитография" Принцип работы литографической машины» Часть Третья заключительная.
Выбор рисунка зависит от типа маски-трафарета. Там, где соединения идут преимущественно горизонтально, лучшим образом подходит одна схема освещения. Там, где вертикально — вторая, а для круглых межслойных соединений — третья. Здесь вновь можно вспомнить аналогию с тонкой ручкой. Например, чтобы рисовать точечные межслойные соединения, свет от «ручки» должен быть направлен строго вниз. А для создания прямых непрерывных линий нужно наклонить ее под углом. Теперь посмотрим, как происходит работа с фотомаской — шаблоном-трафаретом одного слоя будущих чипов...