Многие наверняка заметили и даже удивились тому, что первый российский фотолитограф, совместно произведённый Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) и минским заводом «Планар», не имеет корпуса. Вместо этого машина установлена в микроклиматическом кабинете, что по нашим временам большая редкость.
Впрочем, почему бы и нет? В каком-то смысле для обслуживающего установку персонала это даже удобнее: не нужно возиться с корпусом — просто зашли в кабинет, выполнили, что требуется и вышли. Однако все без исключения мировые производители подобных машин: ASML, Nikon, Canon, SMEE, — стандартно предлагают именно корпусные машины.
И понятно почему: необходимость самостоятельного обустройства микроклиматического кабинета заказчиков этой техники вряд ли обрадует. К тому же корпусная машина более мобильна. Её изначально проще смонтировать в общей производственной линии, проще и переместить при необходимости. Ведь на фоне постоянного прогресса в области полупроводниковых техпроцессов, фабрикам приходится модернизироваться с завидным постоянством.
Почему же у нас установку сделали бескорпусной? Думаю, что из соображений большей простоты для изготовителя. Ведь корпус означает, что изменятся характеристики вибрации, потоки воздуха внутри установки и температурный режим. Всё это пришлось бы рассчитывать и принимать во внимание. А время нашего производителя не ждало.
Поскольку Госкомиссия степпер «Прогресс СТП-350» приняла, отработка в лаборатории ЗНТЦ техпроцессов опытной установки идёт полным ходом, как и изготавление двух первых серийных машин для российских заказчиков, всё было сделано как надо.
Появится ли в будущем у наших фотолитографов корпус? Ответ мне, к сожалению, неизвестен. Скорее всего, на данный момент неизвестен он и самому производителю, поскольку в конечном итоге музыку будут заказывать потребители этой техники, российские полупроводниковые фабрики.
Почему ASML отказалась использовать российский источник EUV излучения в своих фотолитографах? Статью можно прочитать в премиум-разделе канала «Фотолитограф»: