Неужели американский оказался лучше? Задача фотолитографа — нарисовать узор интегральной схемы на полупроводниковой пластине. Инструментом рисования является световое излучение, причём так было с самого начала использования фотолитографов в полупроводниковой промышленности. Другое дело, что поначалу использовался синий свет, потом обычный ультрафиолетовый, ну а сейчас, в основном, используется свет глубокого и экстремального ультрафиолета. Ведь чем короче волна, тем тоньше рисунок. За синий и ультрафиолетовый свет отвечали (и продолжают отвечать до сих пор) газоразрядные ртутные лампы, ну а за DUV и EUV излучение — лазерные источники излучения. В случае с DUV используются эксимерные лазеры, а в случае с EUV — углекислотные. А вот оптические системы в фотолитографах использовались далеко не всегда. Поначалу эти машины были контактными: трафарет попросту прижимался к пластине, покрытой фоторезистом, и через прорези осуществлялось экспонирование. Чуть позже стали использовать проксимальн
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум