Впрочем, применительно к технике в нашей стране использование этого прекрасного имени микроэлектроникой не ограничивается. Чего только стоит легендарный автомобиль «Лада» Волжского автозавода. Но про автомобиль знают все, а вот про то, что этим именем назвали линейку машин советской полупроводниковой промышленности, известно, как правило, только специалистам отрасли.
Речь идёт о машинах химико-технологической обработки производства минского завода «Электронмаш», самой известной из которых, пожалуй, была знаменитая линия «Лада-125». Завод входил в легендарное белорусское объединение точного машиностроения «Планар». Разработкой линии занималось КБ точного машиностроения (КБТЭМ) всё того же холдинга «Планар».
Чего только не делала «Лада»: и фоторезист наносила, и задубливала его, и проявляла пластины после экспонирования, и протравливала узоры интегральных схем. В союзе с фотолитографами получался самый настоящий фотолитографический кластер.
Ведь фотолитограф самодостаточной машиной не является. Перед тем, как экспонировать полупроводниковую пластину (перенести с фотошаблона при помощи света рисунок интегральной схемы), эту пластину необходимо покрыть светочувствительным материалом — фоторезистом, затем подсушить его до нужной кондиции, и только потом экспонировать.
Ну а после экспонирования лишний (неотверждённый) фоторезист нужно смыть, чтобы подчеркнуть рельефную структуру сформированого на пластине трафарета (проявить рисунок). Так что без установки нанесения фоторезиста/проявки даже испытать фотолитограф не получится.
Примечательно, что «Лада-125» осуществляла и травление пластин (гравировку), то есть удаляла слой микросхемы согласно контуров, сформированных фотолитографом. Вообще это было нетипично: обычно машины травления работают отдельно, а установки нанесения резиста/проявки тоже отдельно. «Планару» же удалось сконструировать комплексную установку.
Что с этой установкой в наши дни? «Планар» её больше не выпускает, однако на целом ряде преприятий российской полупроводниковой промышленности эти установки до сих пор работают. Более того, многие из них модернизированы независимыми сервисными компаниями. Речь прежде всего идёт о новых электронных и пневматических компонентах.
Кто же принял у «Лады» эстафету? Установки воронежского НИИ полупроводникового машиностроения (НИИПМ). Воронежский передовик производит просто огромное количество оборудования для химической обработки пластин, от отдельных установок до комплексных кластерных линий. В частности, именно установка нанесения фоторезиста/проявки трудится бок о бок с первым опытным российским фотолитографом в лаборатории Зеденоградского нанотехнологического центра, который этот фотолитограф и разработал в сотрудничестве с минским «Планаром».
Ряд установок воронежского производства носят имя «Лада». Например, линия химической обработки полупроводниковых пластин «Лада-М 2.6.100». Примечательно, что разные модели «Лад» обрабатывают не только полупроводниковые пластины, но и фотошаблоны, кварцевое стекло и даже подложки из сапфира.
Многие установки из серии «Лада» были разработаны буквально в последние несколько лет в рамках комплексного проекта «Разработка и организация производства оборудования индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм в компоновке однопозиционных установок и роботизированного кластера», получившего госфинансирование.
Интересно, что не так часто оборудованию электронного машиностроения дают собственные имена. В случае с теми же фотолитографами это попросту не принято. Ни у голландских, ни у японских, ни у китайских машин таких имён нет. Минский «Планар» свои фотолитографы именами тоже не баловал. Например, популярный в советские годы степпер назывался вполне лаконично: «ЭМ-584». Первый российский фотолитограф пока имеет только рабочее название: «СТП-350-1». Очевидно, от слова «степпер» и 350 нм техпроцесса.
Отрадно, что история «Лады» продолжается. А учитывая тот небывалый прогресс, который сейчас происходит в российской полупроводниковой прмышленности, мы, спустя полвека после блестящего исполнения этой песни Вадимом Мулерманом, можем снова спеть: «Хмуриться не надо, Лада!».
Статью о фотолитографах на магнитной левитации можно прочитать в премиум-разделе канала «Фотолитограф»: