Столики для пластин на магнитной левитации, разгоняющиеся быстрее истребителя, — это уже реальность. Какие узлы являются ключевыми в современных фотолитографах? Очевидно, это источник ультрафиолетового излучения и оптическая система. В этом суть фотолитографа: перенести с помощью оптической системы рисунок интегральной схемы с фотошаблона на полупроводниковую пластину. Инструментом рисования здесь является ультрафиолетовый свет, генерируемый источником излучения. Эта машина работает так красиво, что непонятго, чего здесь больше: науки или искусства? Надо сказать, что степень красоты этой машины возрастала год от года, начиная с появления в начале 60-х годов первых контактных фотолитографов. В то время трафарет с рисунком микросхемы просто прижимался к полупроводниковой пластине, покрытой фоторезистом. Рисунок экспонировался при помощи света ртутной лампы в масштабе 1:1 без использования оптического объектива. Со временем появились проекционные фотолитографы, использовавшие объектив (пе
Публикация доступна с подпиской
ПремиумПремиум