Если средства позволяют, то в наше время купить можно много чего и сразу. Но это «много» не распространяется на самую сложную машину, созданную за историю человечества.
Итак, чтобы подступиться к фотолитографу, работающему на экстремальном ультрафиолете, для начала нужно, чтобы правительство Нидерландов (читай американское) ничего не имело против. Ведь именно нидерландская компания ASML является мировым монополистом в производстве этой техники. Во-вторых, нужно располагать немалыми финансовыми ресурсами. Одна такая машина запросто может потянуть на полмиллиарда долларов, если речь идёт о самых «продвинутых» моделях. Цены на EUV технику «попроще» тоже не обрадуют: расстаться придётся не много ни мало с четвертью миллиарда.
И это при том, что обычно такие машины работают на полупроводниковых фабриках отнюдь не в гордом одиночестве. Например, недавно построенная фабрика японской Rapidus установила сразу пять EUV фотолитографов ASML. Ведь чем больше фотолитографов, тем больше микросхем в единицу времени можно с их помощью напечатать. К тому же эта техника требует регулярной остановки на плановое обслуживание, а бывает, что и на внеплановое. А поскольку современные полупроводниковые фабрики работают круглосуточно, то подстраховаться в этом случае точно не помешает.
В общем, если у фабрики есть деньги и нет бюрократических препонов, то можно отправляться в штаб-квартиру ASML в нидерландском Вельдховене. Но забрать машину сразу никак не получится. Во-первых потому что очередь желающих приобрести эту технику весьма внушительна (по сообщению самой ASML, портфель заказов на EUV фотолитографы на 2026-2027 годы уже полностью сформирован). Ну а во-вторых, каждая EUV машина ASML – это штучный товар. Как правило, существуют десятки опций для одной и той же модели. Представители заказчика и производителя во время согласования заказа фактически каждый раз конструируют уникальный фотолитограф.
В общем, у ASML нет ни желания, ни возможности «наклепать» какое-то количество универсальных EUV фотолитографов «на склад». Более того, голландцам впору вовремя справиться с заранее согласованными заказами. Ведь множество компонентов изготавливается и поставляется эксклюзивными производителями. И если что не так, то могут возникнуть сложности с соблюдением графика. Обычно более простые фотолитографы с низкой числовой апертурой изготавливаются в течении года-полутора с момента утверждения заказа. Ну а производство значительно более сложных машин с высокой числовой апертурой (гигантской оптической системой и как следствие лучшим разрешением) и того больше.
Если какой-то компонент не проходит входной контроль ASML, голландцы практикуют установку временного муляжа, с тем, чтобы не останавливать общий производственный процесс. В тех случаях, кода это представляется возможным, разумеется. Дело осложняется тем, что многие компонеты поставщики ASML также изготавливают под заказ. И у них на складе лишних запасных частей может и не быть.
Следует добавить, что стандартной практикой ASML является требование авансовых платежей при заказе своей техники (мечта каждого производителя). Голландцев можно понять: фотолитографы изготавливаются долго, компоненты и квалифицированная рабочая сила стоят дорого. Раз уж ASML умудрилась стать монополистом в столь высокотехнологичной отрасли, и при этом никому больше ничего подобного сделать так и не удалось, то стоит ли удивляться, что и музыку нидерландская компания заказывает сама.
Что произошло с застрявшим в Нидерландах оборудованием для российской полупроводниковой фабрики «Ангстрем-Т»? Читайте в премиум-разделе канала «Фотолитограф»: