В Китае прошел успешный запуск первого самостоятельно разработанного в стране тандемного высокоэнергетического ионного имплантера водорода: устройство осуществило вывод ионного пучка. Ключевые показатели производительности достигли мирового уровня. Это стало прорывом в разработке основного оборудования для производства микросхем, сообщает Global Times, партнер TV BRICS. Благодаря разработке, которой занимался Китайский институт атомной энергии, страна полностью овладела всей цепочкой технологий для создания таких имплантеров. Ионные имплантеры наряду с литографическими установками, оборудованием для травления и тонкопленочного осаждения являются одними из основных видов аппаратуры для изготовления чипов и незаменимы для производства полупроводников. Для создания устройства институт применил технологию тандемного ускорителя, используя свой многолетний опыт в области ядерной физики. Разработка рассматривается как пример интеграции атомных технологий в полупроводниковую отрасль. До послед
Китай испытал собственный ионный имплантер водорода для производства чипов
22 января22 янв
16
2 мин