Люди старшего поколения хорошо помнят, какую большую роль играла микроэлектроника Германской Демократической Республики для стран Социалистического Содружества. Более того, продукция таких предприятий, как Carl Zeiss Jena, с большим успехом продавалась и в капиталистических странах, правда под особой маркой “aus Jena”, чтобы не напрягать отношения с одноимённым западногерманским концерном.
Пожалуй, именно Carl Zeiss был наиболее известным восточногерманским полупроводниковым предприятием в СССР. И это легко объясняется. Ведь «гэдээровский» конгломерат поставлял в Советский Союз не только готовые микросхемы, но и широкую линейку оборудования для производства полупроводников, включая передовые по тем временам фотолитографические степперы. Да и знаменитый футбольный клуб Carl Zeiss Jena способствовал широкой узнаваемости этого комбината.
После объединения Германии Carl Zeiss Jena был поглощён своим западногерманским собратом, и производственное отделение объединённого Carl Zeiss AG в Йене чувствует себя сейчас очень неплохо (хотя до былого размаха ему далеко). К тому же бывший гигант социалистической микроэлектроники сосредоточился на производстве микроскопов и медицинского оборудования, и ни микросхемы, ни фотолитографы он больше не производит.
А вот судьба другого восточногерманского передовика, VEB HFO (Halbleiterwerk Frankfurt/Oder), сложилась куда как более драматично, чем у микроэлектронщиков из Йены. Полупроводниковый гигант из Франкфурта-на-Одере был крупнейшим профильным предприятием ГДР: В период своего расцвета, в 80-е годы, HFO выпускал сотни миллионов микросхем в год, а также огромное количество дискретных полупроводников. На предприятии было трудоустроено порядка 8 тысяч человек.
Первый производственный цех начал свою работу в 1961 году. Поначалу предприятие сосредоточилось на выпуске транзисторов, выпрямителей и стабилитронов. Производство интегральных схем началось в 1967 году. HFO удалось стать одним из основных поставщиков микросхем для крупнейшего комбината восточногерманской электроники, дрезденского Robotron.
В 1983 году HFO основал исследовательский институт IHP (Институт физики полупроводников). На закате существования ГДР этот институт совершил настоящий прорыв в разработке ультрасовременной по тем временам полупроводниковой технологии SiGe:C (легирования углеродом кремний-германия). Кремний-германиевые микросхемы существовали уже давно, но микросхемы из кремний-германий-углерода были настоящей новинкой. После объединения Германии и остановки заказов со стороны СССР, на заводе HFO случился кризис. На месте гигантского комбината осталось лишь несколько малых предприятий и Институт IHP (благодаря господдержке).
Это привело к массовой миграции бывших работников завода в другие регионы Германии. Поэтому правительство земли Бранденбург и мэрия Франкфурта-на- Одере охотно поддержали инициативу Института IHP о строительстве на осколках былого гиганта нового полупроводникового завода, который должен был производить кремний-германиевые микросхемы по заказам европейских потребителей.
Дело в том, что в начале 2000-х годов уже стали очевидными грандиозные перспективы мобильной связи, а кремний-германиевые микросхемы способны работать при более высоких частотах и температурах, чем кремниевые, и при этом значительно энергоэффективнее. В 2001 году учреждается предприятие Communicant Semiconductor Technologies AG, которое лицензирует SiGe:C технологию IHP и объявляето строительстве полупроводниковой фабрики во Франкфурте-на-Одере.
Эта новость вызвала большой ажиотаж среди оставшихся без работы местных электронщиков: на 1500 вакансий было подано 6000 заявок. Стоимость строительства новой фабрики оценили в немалые 1,5 млрд долларов. Стартапу удалось достаточно быстро собрать половину требуемой суммы и в этом же 2001 году начать строительство. Инвесторами выступили американская Intel, правительство Дубая и правительство земли Бранденбург. Субсидию новой компании также предоставил Евросоюз.
Но оставшуюся половину средств планировалось привлечь от консорциума коммерческих банков. Однако консорциум требовал под этот кредит гарантии федерального правительства. Казалось бы, в чём проблема? Германия — страна богатая, во всяком случае по состоянию на начало 2000-х. Но неприятности для Communicant Semiconductor подкрались с неожиданной стороны, а именно со стороны коллеги по цеху, передовика немецкой микроэлектроники Infineon. Бывшее полупроводниковое подразделение знаменитой Siemens, двумя годами ранее отправившееся в свободное плавание, незадолго до этого запустило производство кремний-германиевых микросхем на собственной фабрике в Германии. Перспектива получить под боком сильного конкурента немецкому передовику очень не понравилась.
В 2003 году Infineon поставила вопрс ребром перед федеральным правительством: или мы, или они. И пригрозила перенести своё производство в Швейцарию. Ссориться с реальным передовиком из-за передовика мифического правительству не захотелось, так что в правительственных гарантиях банковскому консорциуму было отказано. Как ни протестовали франкфуртцы, как ни собирали подписи в защиту проекта, это делу не помогло. Консорциум самораспустился, и весь многообещающий проект рухнул. После ликвидации Communicant Srmiconductor остался только недостроенный производственный корпус.
Как обстоят дела с SiGe:C полупроводниками в наши дни? Infineon по-прежнему остаётся крупным производителем по этой части. Основной объём выпускается на фабрике в Дрездене, прежде всего чипы для высокочастотных автомобильных радиолокационных систем (системы помощи водителю и автономного вождения) и прочих радиочастотных компонетов, таких как малошумящие усилители и приемопередатчики.
Ряд ведущих мировых производителей микросхем, к примеру франко-итальянская STMicroelectronics и американская GlobalFoundries, также вовсю производят такие полупроводниковые устройства, главным образом использующиеся в беспроводных локальных сетях (WLAN), мобильной телефонии и GPS приёмниках.
Судьба института IHP сложилась гораздо лучше, чем у его производственного коллеги. Институт по-прежнему является ведущим научным учреждением по части исследований в области кремний-германиевых интегральных схем, а также их прототипирования и мелкосерийного производства. В последние годы IHP также активно развивает такую перспективную область исследования как кремниевая фотоника.
Ещё один производственный полупроводниковый «гэдээровский» гигант, комбинат микроэлектроники им. Карла Маркса (VEB Kombinat Mikroelektronik Erfurt) трансформировался в одно из самых известных предприятий мировой микроэлектроники, немецкий конгломерат X-FAB. Ведущий производитель автомобильных микросхем, в том числе изготавливаемых на подложках из столь популярных в автопроме нитрида галлия и карбида кремния, не только управляет тремя заводами в Германии, но и осуществляет активную мировую экспансию: заводы во Франции, США и Малайзии.
Следует отметить, что практически все успешные современные немецкие полупроводниковые предприятия, имеющие восточногерманские корни, стали таковыми благодаря крупным западным инвестициям, хотя государственные субсидии также имеют место. Наиболее яркий пример: полупроводниковая фабрика European Semiconductor Manufacturing Company (ESMC). Европейская фабрика крупнейшего в мире тайваньского полупроводникового производственного конгломерата TSMC прямо сейчас возводится в Дрездене. Тайваньцы имеют в предприятии 70%, немецкие Robert Bosch и Infineon, а также голландский NXP — по 10% каждый. Фабрика, открытие которой запланировано на конец следующего года, будет способна выпускать микросхемы по вполне передовым техпроцессам 16/12 нм. Чтобы завлечь тайваньцев, немецкие власти предоставили многомиллиардную субсидию.
Примечательно, что именно Восточной Германии после всех передряг удалось стать признанным центром микроэлектроники не только Германии, но и всей Европы. Причём речь идёт прежде всего о Саксонии и её столице Дрездене. Ведь фабрики Bosch, Infineon, GlobalFoundries, X-FAB и строящаяся ESMC расположены именно здесь.
Премиум-статья: III часть истории про восхождение передовика фотолитографов, нидерландской ASML.