Какая компания обладает наибольшим количеством патентов в области оборудования для производства полупроводников? На ум может прийти нидерландская ASML, ведущий в мире разработчик и производитель фотолитографов, или Carl Zeiss, мировой лидер в области оптических решений для полупроводниковой промышленности, ну или американский передовик Lam Research, который по части электронного машиностроения кроме фотолитографов производит, кажется, буквально всё.
Но нет, в патентах пальму первенства уверенно удерживает лидер японского электронного машиностроения Tokyo Electron. Их у японского передовика более 23 000 (по состоянию на 2024 год). Основанная ещё в 1963 году, японская компания, как и многие её соотечественники, начинала свой путь с сотрудничества с американцами, а именно с пресловутой Lam Research, продукцию которой она и продвигала на японском рынке.
Набравшись опыта, японцы стали производить широчайший ассортимент техники для полупроводникового производства самостоятельно. И немало в этом преуспели. Чего только Tokyo Electron не производит: системы плазменного травления, осаждения, очистки, метрологическое оборудование. Но особенно японцы преуспели в системах нанесения фоторезиста и проявки. Зедсь у них порядка 90% доли мирового рынка.
Ну а когда речь заходит о фотолитографах экстремального ультрафиолета (EUV), монопольно производимых ASML, то оказывается, что голландцы вовсе не одни такие умные. Ведь прежде чем экспонировать полупроводниковую пластину в фотолитографе, предварительно нужно нанести на неё светочувствительный материал — фоторезист. А после экспонирования (переноса рисунка интегральной схемы с фотошаблона на пластину с помощью светового облучения) лишний фоторезист нужно смыть (проявить рисунок).
Так вот: в системах нанаесения фоторезиста и проявки для EUV фотолитографов Tokyo Electron является таким же мировым монополистом, как и ASML. В общем одно без другого не существует: если на фабрике установлен EUV фотолитограф, то он непременно производства ASML, и рядом с ним непременно установлена комплесная машина нанесения фоторезиста/проявки Tokyo Electron.
Ну а когда компания разрабатывает и прозводит столь широкий ассортимент сложнейшей техники, то её лидерство по части патентов удивления не вызывает.
❗ Для знатоков и любителей микроэлектроники, полупроводниковой промышленности и фотолитографии: заходите в премиум-раздел канала «Фотолитограф».