Вопрос непраздный, учитывая, что речь идёт об одних из самых сложных и дорогих машинах, созданных человеком. Именно фотолитографы экстремального ультрафиолета (EUV) позволяют производить самые передовые чипы современности: от «систем на кристалле» наших смартфонов до мощных ускорителей искусственного интеллекта.
Впрочем, если принять во внимание то обстоятельство, что единственной компанией в мире, производящей эту технику, является нидерландская ASML из городка Вельдховена, то вопрос можно переформулировать следующим образом: Сколько ежемесячно в мире продаётся EUV фотолитографов ASML? В ответе на этот вопрос нам помогут финансовые отчёты голландского гиганта. В третьем квартале 2023 года (последний доступный на сегодня отчёт) было реализовано 9 единиц EUV фотолитографов, а во втором квартале — 11. Так что можно сделать вывод, что нидерландский передовик «выдаёт» порядка 10 таких машин ежеквартально, ну или три машины ежемесячно.
А «что с деньгами»? С чем с чем, а с этим делом у голландцев полный порядок. Общая сумма продаж девяти EUV машин в том же третьем квартале составила 3,6 млрд евро, то есть в среднем 400 млн за одну машину. Вот так то! К сожалению, мне не удалось найти разбивку цифр отдельно по ультрасовременным фотолитографам с высокой числовой апертурой и по ставшими уже классическими EUV машинам с низкой числовой апертурой. Но поскольку эти машины продаются скорее всего вперемешку, пусть и в неизвестной нам пропорции, можно смело предположить, что цена за одну High NA (высокая числовая апертура) EUV машину стремится к полумиллиарду евро. Красиво, что и говорить.
Но хотя именно EUV машины приносят ASML больше всего денег за счёт их невероятной дороговизны, по количеству проданных единиц такие машины отнюдь не в первых рядах. Пальму первенства удерживают иммерсионные DUV (глубокий ультрафиолет) фотолитографы. Эти машины используют источник излучения на фториде аргона (эксимерный ArF лазер, длина волны 193 нм) и дополнительную водяную линзу для увеличения числовой апертуры системы, а стало быть и её разрешения. Такие машины — самые настоящие «рабочие лошадки» современных полупроводниковых фабрик. Трудно найти передовую микросхему, в которой добрая половина слоёв не была бы напечатана с использованием иммерсионных DUV машин.
Так вот, в третьем квартале ASML удалось продать не много ни мало 38 таких установок. А что с более ранними «сухими» фотолитографами, использующими источник излучения на фториде криптона (эксимерный KrF лазер, длина волны 248 нм)? Таких машин было продано 11 единиц. Фотолитографов i-line, работающих на ртутных лампах, генерирующих 365 нм ультрафиолетовый свет, было продано целых 10 штук. К слову, первый российский фотолитограф, выпущенный в прошлом году Зеленоградским нанотехнологическим центром, относится именно к этой категории (правда использует вместо ртутной лампы более современное решение на основе твердотельного лазера). На последней позиции в списке ASML находится «сухой» ArF фотолитограф: таких машин в третьем квартале было продано всего 4 единицы.
Главными покупателями установок ASML являются производители логических чипов: 65% машин заказали именно они, ну а оставшиеся 35% приобрели производители микросхем памяти. Распределение заказчиков по регионам также без сюрпризов: на первом месте Китай, на втором Тайвань, на третьем Южная Корея.
Но есть нюанс: если тайваньской TSMC, южнокорейским Samsung Electronics и SK Hynix установки экстремального ультрафиолета ASML продаёт, то китайским заказчикам — нет, и никогда не продавала ранее. В числе покупателей EUV машин можно ещё назвать американские Intel и Micron Technology. На этом недлинный список компаний, которые имеют желание и возможность приобрести эту технику, заканчивается. Ведь чтобы решиться на покупку столь дорогого оборудования, нужно быть очень уверенной в собственных силах компанией и к тому же получить разрешение не только от властей Нидерландов, но и одобрение администрации США, поскольку именно американцы контролируют ряд ключевых технологий, используемых в голландских машинах.
Премиум-статья про иммерсионные фотолитографы: