Компания «Отраслевые решения», принадлежащая группе «Элемент», получила первый отечественный литограф, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ). Машина имеет разрешение 350 нанометров (нм).
«Отраслевые решения» специализируется на локализации производства силовой электроники, используемой в энергетике, машиностроении, приборостроении, авиации и других отраслях. Литографическая машина предназначена для переноса рисунка с фотошаблона на полупроводниковую пластину для создания сверхбольших интегральных схем (СБИС) с длиной волны 350 нм, что применяется в силовой электронике, автомобильных системах и промышленности.
ЗНТЦ совместно с белорусской компанией «Планар» разработали литограф в рамках конкурса, объявленного Министерством промышленности и торговли в 2021 году. Проект успешно завершился весной 2025 года. Также ведутся работы по созданию машины с разрешением 130 нм.
Текущий литограф имеет рабочую зону 22 мм x 22 мм и обрабатывает пластины диаметром 200 мм. Машина работает на длине волны 365 нм и рассчитана на эксплуатацию не менее пяти лет, при этом весит 3500 кг.
«"Элемент" — крупнейший производитель российской микроэлектроники. Компания была создана в 2019 г. на базе активов АФК "Система" и "Ростеха". В группы вошли крупнейший производитель чипов в России — зеленоградский "Микрон", НИИ электронной техники, НИИ электронной и микроэлектронной аппаратуры "Прогресс", а также завод полупроводниковых приборов, "ВЗПП-Микрон" (Воронежский завод полупроводниковых приборов) и другие компании», — сказано в сообщении компании.