Сделать установку- это только половина пути. В литографии решает не факт наличия машины, а выход годных: сколько рабочих чипов получается с пластины. Если он низкий- экономика не сходится. Если высокий (90%+ на зрелых техпроцессах)- фабрика зарабатывает.
Зачем все упираются в «выход»
Каждый дополнительный шаг- место для ошибки: совмещение масок, выравнивание, экспонирование, проявка. Чем меньше «многократностей» и пересъёмов, тем ровнее картинка, тем выше годность. Поэтому мир и гнался за EUV, а теперь- за EUV high-NA: больше разрешение → меньше масок → меньше дефектов.
Историческая пауза тут немаленькая. Первые предсерийные EUV-инструменты уехали к заказчикам задолго до реальных серийных чипов. Между «привезли» и «вышли на конвейер» проходят годы: монтаж, калибровки, рецепты, статистика.
Когда нет доступа к EUV
Выход- мультиэкспонирование на DUV. Так получали продвинутые топологии и без EUV: больше проходов → больше рисков и потерь, но это рабочий путь, если другого нет. Цена- ниже годность и выше себестоимость. Однако иногда это единственный вариант «сегодня».
Где мы сейчас
Первые образцы российского фотолитографа (с участием белорусских партнёров) показаны и проходят обкатку в Зеленограде. Это важный шаг, без шуток. Но установка- не принтер. И «степпер» в этом контексте- проекционная машина step-and-repeat, а не «шаговый двигатель».
Чтобы из демонстрации перейти к промышленной рутине, нужен кластер:
coat/develop: нанесение фоторезиста, сушка, проявка;
stepper/scanner: собственно экспонирование;
метрология: контроль критических размеров, наложения, дефектов;
очистка/химия: стабильность поверхности между шагами.
Часть узлов в стране уже делают (например, оборудование для резиста и проявки). Остальное- добирать кооперацией и локализацией.
Что будет «болеть» в реальном запуске
Техпроцесс ≠ одна кнопка. Рецепты подстраивают под конкретную партию пластин, резист, температуру, вибрации. Это месяцы тонкой настройки и статистики.
Маски и дизайн-правила. Для каждого узла- свои DRC/OPC, свои допуски. Нужна школа подготовки фотошаблонов и саппорт КАД-цепочки.
Метрология и SPC. Без плотного контроля процесса (overlay, CD, дефекты) выход «плавает». Нужны графики, карты, команды смен.
Люди. Операторы, технологи, радиохимия, сервис- это сменная работа, а не «проект на полгода».
Дорожная карта «от стенда к серии»
Пилотные платки на зрелых нормативах (350 нм и рядом): простые схемы, много метрик.
Статистика по годности: не один удачный пуск, а стабильные партии.
Расширение кластера: метрология, химия, чистые. Инструменты- под задачу, а не «что получилось».
Локализация расходников: резисты, проявители, чистящие- минимум замен и стабильные поставки.
Серийные заказы: не «раз в квартал», а календарь запусков. Иначе рецепты «остывают» и всё начинается сначала.
Где реально целиться
Зрелые техпроцессы для власти и промышленности: аналого-цифровые, силовые, датчики. Там цены решают не нанометры, а надёжность и срок поставки.
Специзделия с низкими объёмами и высокой маржой: кастомная логика, интерфейсы, РФ-блоки.
Критичные импортозамещаемые позиции: то, что сегодня «висит» на цепочках поставок.
Что будет считаться успехом
Не заголовок «установка сделана», а три вещи на одном графике:
растущая годность по партиям;
себестоимость ниже порога «летим в минус»;
срок цикла (cycle time) без «ямы» между запусками.
Когда эти три кривые стабилизируются- можно говорить о производстве.
Итог
Новость «свой фотолитограф»- важная. Но настоящая работа начинается сейчас: кластер, рецепты, люди, метрология, поставки, сервис. Это не спринт, а длинная дистанция. Ускорить её можно только одним способом- регулярной серией и упорной рутиной смен. Тогда «есть машина» превратится в «есть чипы в нужных объёмах и сроках».
Подпишитесь на канал- оставляйте свои комментарии.