В России создают редкое оборудование для микроэлектроники на замену китайскому
Минпромторг России выделил 476,8 млн рублей на разработку установки для отмывки и сушки контейнеров SMIF, используемых для хранения кремниевых пластин. Эти контейнеры обеспечивают повышенный уровень чистоты при перемещении пластин в производственном цикле, что позволяет значительно снизить дефектность продукции. В настоящее время подобное оборудование закупается в Китае, но Россия стремится к импортозамещению.
Созданием установки займется Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики. Разработка должна быть завершена в течение двух с половиной лет. Установка будет обрабатывать контейнеры для пластин диаметром 150 мм и 200 мм, что соответствует современным стандартам микроэлектронного производства.
Основными пользователями нового оборудования станут такие предприятия, как «Микрон», «Исток им. Шокина», НИИС им. Седакова и НЗПП «Восток». По оценкам Минпромторга, спрос на такие установки к 2030 году составит не менее 10 единиц.
Проект является частью масштабных усилий по развитию отечественного оборудования для микроэлектроники, которые начались после введения санкций в 2022 году. Российские компании, такие как группа «Элемент», активно вкладывают средства в разработку оборудования для производства радио-, СВЧ- и микроэлектроники, создавая альтернативы импортным технологиям.
Санкции и импортозамещение: