11 Марта 2024 года в Нижнем Новгороде начался XXVIII Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника». Почему он нам особенно интересен? Потому что на нём будут выступления в том числе и по теме рентгеновской оптики, которая необходима для создания российского литографа на те самые условные 28 нм.
Поскольку видеоматериалов выступлений ещё нет, они, видимо, появятся позже, то я пока в этой своей статье просто перечислю ожидаемые выступления этого симпозиума по дням, и лишь только по теме «Многослойная и кристаллическая рентгеновская оптика». Замечу, что эта тема касается не только литографов, но и других прикладных направлений.
Доклады
11.03.2024
14.30 – 14.40 Николай Иванович Чхало.
«Памяти Николая Николаевича Салащенко»
14.40 – 15.10 (Пр). Владимир Николаевич Полковников
«Изображающая многослойна оптика для рентгеновской микроскопии и астрономии»
15.10 – 15.30 Арам Давидович Ахсахалян
«Тестирование многослойных зеркал в форме параболического цилиндра»
15.30 – 15.50 Кирилл Вячеславович Дуров
«Многослойные структуры на основе Ni для зеркал гёбелевского типа»
15.50 – 16.10 Руслан Маратович Смертин
«Многослойные рентгеновские зеркала Cr/Sc с улучшенными отражательными характеристиками для спектрального диапазона «окно прозрачности воды»
16.10 – 16.30 Роман Сергеевич Плешков
«Исследование структурных и отражательных характеристик короткопериодных Mo/Be многослойных рентгеновских зеркал»
12.03.2024
9.00 – 9.30 (Пр.) Александр Ильич Франк
«Групповое время задержки и время отражения нейтронной волны»
9.30 – 10.00 (Пр.) Леонид Иванович Горай
«Высокочастотные рентгеновские дифракционные кремниевые решетки с малыми углами блеска: определение дифракционной эффективности и влияния шероховатости»
10.00 – 10.20 Максим Андреевич Захаров
«Фурье-модальный метод расчета дифракции нейтронов на движущейся периодической потенциальной структуре»
10.20 – 10.40 Владимир Алексеевич Бушуев
«Оптические импульсы в PT-симметричном фотонном кристалле при частотной сингулярности»
10.40 – 11.00 Руслан Михайлович Фещенко
«О фазовой и групповой скоростях волн в сквозных порах полимерных трековых мембран»
13.03.2024
9.00 – 9.20 Антон Дмитриевич Николенко
«Измерение эмиссионных спектров в мягком рентгеновском диапазоне на станции «Космос» с использованием синхротронного излучения из накопителя ВЭПП-4»
9.20 – 9.40 Юрий Вадимович Хомяков
«О корректном применении преломляющей рентгеновской оптики на ондуляторных станциях источников СИ 4-го поколения для когерентных методов»
9.40 – 10.00 Егор Ильич Глушков
«Двухзеркальный многослойный монохроматор для синхротронов поколения 4+»
10.00 – 10.20 Егор Владимирович Петраков
«Методы метрологии крупногабаритных рентгеновских зеркал в субнанометровом диапазоне»
10.20 – 10.40 Сергей Вячеславович Некипелов
«Радиационное разложение приповерхностных слоев и тонких пленок под действием синхротронного излучения»
10.40 – 11.00 Виктор Николаевич Сивков
«Перспективы использования многослойных структур и тонких пленок для определения сечений поглощения в области NEXAFS 2p-краев Si, P и S»
14.30 – 15.00 (Пр.) Елена Олеговна Филатова
«Нитридизация как метод повышения термической стабильности короткопериодных многослойных зеркал»
15.00 – 15.30 (Пр.) Игорь Анатольевич Артюков
«О спектральном диапазоне «углеродного окна» в мягкой рентгеновской микроскопии»
15.30 – 15.50 Андрей Владимирович Каратаев
«Влияние материала барьерного слоя и температуры отжига на процесс формирования межслоевых областей в многослойных структурах Cr/Ti»
15.50 – 16.10 Александр Викторович Бугаев
«Теоретическое и экспериментальное изучение межфазной границы в многослойном зеркале Mo/B4C до и после введения барьерного слоя W»
16.10 – 16.30 Андрей Александрович Ломов
«Микроструктура островковых пленок Al на Si(111) при магнетронном напылении: влияние температуры подложки»
14.03.2024
9.00 – 9.20 Сергей Вадимович Кузин
«Использование коммерческих КМОП-матриц для регистрации рентгеновских изображений с микронным разрешением»
9.20 – 9.40 Илья Вячеславович Малышев
«Модернизация зеркального ЭУФ-микроскопа на увеличение 350 крат»
9.40 – 10.00 Александр Алексеевич Перекалов
«Двухзеркальный объектив Шварцшильда для исследования лазерной искры в ЛПИ»
10.00 – 10.20 Андрей Николаевич Нечай
«Расчетное и экспериментальное определение размеров лазерной искры в газоструйных мишенях»
10.20 – 10.40 Евгений Александрович Вишняков
«О свойствах элементарных частиц, ускоренных световым полем»
10.40 – 11.00 Андрей Александрович Самохвалов
«Динамика капиллярной плазмы: интерпретация экспериментальных данных на основе МГД-моделирования»
14.30 – 14.50 Дмитрий Мохов
«Высокочастотные рентгеновские дифракционные кремниевые решетки с малыми углами блеска: отработка технологии изготовления»
14.50 – 15.10 Евгений Николаевич Рагозин
«Монохроматоры высокого разрешения на область длин волн 110–160 Å»
15.10 – 15.30 Василий Ильич Пунегов
«Моделирование рентгеновской дифракции в структурированных и деформированных кристаллах кремния»
15.30 – 15.50 Дмитрий Георгиевич Реунов
«Наблюдение квазибрэгговского рассеяния в зеркалах Гебеля»
15.50 – 16.10 Святослав Сергеевич Морозов
«Многостриповые многослойные зеркала для источников на основе обратного комптоновского рассеивания
16.10 – 16.30 Алексей Константинович Чернышев
«Методики формообразования оптических поверхностей широкоапертурным источником ионов»
15.03.2024
11.30 – 12.00 (Пр.) Чхало Николай Иванович
«Дорожная карта развития высокопроизводительной рентгеновской литографии в России»
Кстати, я не думаю, что дорожная карта принципиально изменилась со времени моей последней публикации на эту тему.
12.00 – 12.20 Александр Валентинович Водопьянов
«Экстремальное ультрафиолетовое излучение разряда на криомишени под воздействием сфокусированного излучения CO2 лазера»
12.20 – 12.40 Алексей Павлович Веселов
«Исследование свойств разряда локализованного в струе инертного газа, инициированного под воздействием сфокусированного излучения CO2-лазера»
12.40 – 13.00 Валерия Евгеньевна Гусева
«Временные зависимости импульсного ЭУФ-излучения, формируемого в лазерно-плазменном источнике излучения»
13.00 – 13.20 Алексей Евгеньевич Пестов
«Формирование подложек для КБ-системы методами ионно-пучкового травления»
Стендовая секция
Многослойная и кристаллическая рентгеновская оптика
11.03.2024 17:00–18:30
Артюхов Алексей Иванович
«Литограф прямого изображения для структурирования поверхности»
Гайкович Константин Павлович
«Геометрооптический подход в рентгеновской микроскопической томографии»
Глушков Егор Ильич
«Рентгеновская коллимирующая система на основе параболических зеркал Киркпатрика – Байеза»
Демин Глеб Дмитриевич
«Формирование изображения в рентгеновской оптике на основе преломляющих линз с учетом поглощения»
Гусева Валерия Евгеньевна
«Изучение деградации рентгеновских зеркал под воздействием ЭУФ-излучения и ионов, формируемых в лазерной плазме»
Дуров Кирилл Вячеславович
«Многослойные рентгеновские зеркала W/B4C для рентгенофлуоресцентной спектрометрии»
Дуров Кирилл Вячеславович
«Высокоградиентная асферизация подложек тонкопленочными покрытиями Al/Si»
Егоров Владимир Константинович
«Формирование наноразмерных радиационных потоков волноводно-резонансными рентгеновскими устройствами»
Загайнов Николай Владимирович
«Связь энергии активации диффузии и энтальпии образования соединений на величину межслоевой шероховатости многослойных структур»
Зорина Мария Владимировна
«Исследование влияния ионной обработки ситалла на шероховатость поверхности»
Лопатин Алексей Яковлевич
«Капсульная газонаполненная мишень для лазерно-плазменного ЭУФ-источника»
Лопатин Алексей Яковлевич
«Стенд тестирования чувствительных к ЭУФ-излучению фоторезистов»
Михайленко Михаил Сергеевич
«Изучение формирующегося нарушенного слоя в монокристаллическом кремнии и его влияние на поведение шероховатости поверхности в процессе ионного травления»
Михайленко Михаил Сергеевич
«Вспомогательное программное обеспечение для приложений ионного травления»
Морозов Святослав Сергеевич
«Спектрограф для диапазона 6–20 нм»
Мурзина Анастасия
«Оптимизированное вставное устройство для EUV-литографии на источнике синхротронного излучения 4-го поколения»
Плешков Роман Сергеевич
«Исследование структурных и отражательных характеристик короткопериодных Mo/Be многослойных рентгеновских зеркал»
Плешков Роман Сергеевич
«Исследование влияния ионизирующего излучения на многослойные рентгеновские зеркала Be/Si/Al»
Сидоров Александр Васильевич
«Газовые мишени для точечного источника вакуумного и экстремального ультрафиолетового излучения, поддерживаемого сфокусированным электромагнитным излучением»
Хомяков Юрий Вадимович
Радиационно-охлаждаемый аморфный фильтр на основе сверхтонких фольг для источников СИ 4-го поколения»
Хомяков Юрий Вадимович
«Плавно регулируемые жидкие линзы для источников СИ 4-го поколения»
Цыбин Николай Николаевич
«Коррекция волнового фронта в ЭУФ-диапазоне длин волн за счет использования свободновисящих пленок»
Шапошников Роман Анатольевич
«Многослойные рентгеновские зеркала на основе бора для спектрального диапазона 6,7–9 нм»
Заключение
Всё вышеперечисленное — лишь часть тем симпозиума. Помимо рентгеновской оптики будет не меньшее число докладов и стендов по другим темам:
- Сверхпроводящие наносистемы
- Магнитные наноструктуры
- Полупроводниковые наноструктуры: электронные, оптические свойства, методы формирования
- Измерения и технологии атомарного и нанометрового масштаба на основе зондовых, электронно-лучевых и ионно-лучевых методов
- Твёрдотельная элементная база квантовых технологий
Кое-что из вышеперечисленных тем также имеет прямое отношение к созданию литографического оборудования.
Подробнее о мероприятии можно узнать на сайте симпозиума. Как только появятся видеоматериалы выступлений с симпозиума, я их изучу на предмет каких-то новостей о рентгеновском литографе и, если таковые будут, обязательно сообщу о них. Однако, я думаю, что ничего принципиально нового мы пока не услышим.
P.S. Появилась запись трансляции первого дня симпозиума, вот ссылка с привязкой ко времени на начало темы о рентгеновской оптике: https://youtu.be/gIqyd8ABIKs?t=14507
На сегодня всё. Ставьте нравлики, подписывайтесь на канал и оставляйте свои мысли в комментариях. Удачи!