Технология точного позиционирования широко используется в прецизионном производстве, сканирующем микроскопе, полупроводнике и других областях, точность позиционирования, разрешение, время отклика и т. Д. выдвигают более высокие требования.
пьезоэлектрическая наноплатформа позиционирования с пьезоэлектрической керамикой в качестве источника привода, с использованием гибкого шарнирного направляющего механизма без трения. Он имеет характеристики высокой точности позиционирования, высокой жесткости, быстрой реакции и высокого разрешения. Он стал основным оборудованием для точного позиционирования. Однако из - за свойств гистерезиса и ползучести пьезоэлектрической керамики точность и стабильность системы позиционирования серьезно пострадали.
Магнитный гистерезис
Существует разница в смещении между кривыми повышения давления пьезоэлектрической керамики и кривыми снижения давления. При одинаковых значениях напряжения существует значительная разница в смещении между значениями на восходящей и нисходящей кривых, и эта разница будет меняться по мере изменения диапазона напряжения. Чем меньше приводное напряжение, тем меньше разность смещения. Мы определяем наклон между точками переключения локальной кривой гистерезиса как коэффициент деформации сигнала большого напряжения d (GS):
Ползать
Ползучесть означает, что, когда напряжение, наложенное на пьезоэлектрическую керамику, остается неизменным, значение смещения не стабилизируется на фиксированном значении, а медленно меняется со временем, достигая стабильного значения через определенное время.
Чтобы уменьшить или устранить влияние вышеуказанных характеристик на точность позиционирования пьезоэлектрической наностанции, можно выбрать управление замкнутой системой для коррекции.
коррекция замкнутого цикла
Система с замкнутым контуром использует датчик для определения местоположения, а контроллер обнаруживает смещение с помощью коррекции напряжения. Таким образом, в замкнутой системе нет проблем с запаздыванием или ползучести. Датчики замкнутого цикла CoreMorrow в основном используются в трех типах: SGS, LVDT и CAP, в зависимости от точности позиционирования.
Примеры пьезоэлектрической наноплатформы CoreMorrow P66:
Закрытая версия пьезоэлектрической нанолокационной платформы P66 оснащена датчиком деформации с высоким разрешением и быстрым реагированием (SGS), который размещен в нужном месте приводного механизма для обратной связи сигналов напряжения высокой пропускной способности и высокой точности с контроллером. Датчик использует всю конфигурацию моста для устранения теплового дрейфа, достигая замкнутой линейности 0,1% F.S.
пьезоэлектрический уровень CoreMorrow имеет замкнутую версию с замкнутой системой управления. пьезоэлектрический контроллер через PID алгоритм для коррекции смещения в реальном времени, регулирования напряжения для достижения точности нанолокации, хорошей стабильности и высокой надежности.
