P17 - это двухмерная сканирующая станция, специально разработанная для приложений с большой апертурой и большим смещением. Сканер использует механизм усиления, встроенный в высоконадежный пьезоэлектрический возбудитель, который обеспечивает диапазон сканирования 187,5 мкм с апертурой 60×60 мм. Он широко используется в таких областях, как точное позиционирование, сканирующая микроскопия и интерференция образцов.
Характеристики:
• Ось XY
• Максимальная дальность хода 187,5 мкм
• Максимальная нагрузка 1 кг
• Аппаратура: 60×60мм
• Время быстрого реагирования
Применение
• Обработка и стабилизация изображений
• помехи
• Сканирующий микроскоп
• Проверка поверхности
• Расположение кристаллического круга
• Микрооперации
Время шагов
Время прохождения P17.XY200S от 10 г до полного хода составляет около 30 мс.
Большое смещение с большой апертурой
Конструкция без трения, высокая точность ориентации, время отклика до 5 мс.
В закрытой версии используется высокоточная сенсорная обратная связь. Сканер с апертурой 60×60 мм предназначен для позиционирования кристаллической окружности или микроопераций в промышленной автоматизации.
Примеры применения
P17 Подходит для высокоточных применений. Он успешно применяется в таких областях, как испытания полупроводников, анализ структуры поверхности и микровизуализация.
В сочетании с пьезоэлектрическим объективным сканером CoreMorrow используется для позиционирования чипа, который может приводить чип к точному позиционированию на наноуровне с перемещением 187,5 мкм.
