Добавить в корзинуПозвонить
Найти в Дзене
Фотолитограф

Южнокорейские производители оборудования для микрочипов.

Когда речь заходит об оборудовании для микроэлектронного производства, на ум сразу приходит целая вереница японских и американских предприятий, таких как Tokyo Electron или Lam Research. Именно машины из этих стран доминируют на полупроводниковых фабриках по всему миру. Особняком стоит признанная звезда этого хит-парада, голландский производитель фотолитографов ASML. А как обстоят в этой отрасли дела с полупроводниковыми пластинами и продуктами чмстой химии, прежде всего фоторезистом: светочувствительным материалом, без которого производство микрочипов попросту невозможно? Здесь в передовиках опять японцы: компании Sumco и Shin-Etsu производят около двух третей всех кремниевых подложек в мире, и примерно такую же часть мирового объёма продуктов чистой химии для производства микрочипов производят такие японские передовики как Tokyo Ohka Kogyo, Shin-Etsu и Sumitomo Chemical. Возникает вопрос: а что же корейцы? О промышленном оборудовании и материалах для полупроводниковой промышленност

Когда речь заходит об оборудовании для микроэлектронного производства, на ум сразу приходит целая вереница японских и американских предприятий, таких как Tokyo Electron или Lam Research. Именно машины из этих стран доминируют на полупроводниковых фабриках по всему миру. Особняком стоит признанная звезда этого хит-парада, голландский производитель фотолитографов ASML.

Американская Lam Research – один из крупнейших производителей производственного оборудования для полупроводниковой промышленности. Камера установки травления Vantex. Изображение: newsroom.lamresearch.com
Американская Lam Research – один из крупнейших производителей производственного оборудования для полупроводниковой промышленности. Камера установки травления Vantex. Изображение: newsroom.lamresearch.com

А как обстоят в этой отрасли дела с полупроводниковыми пластинами и продуктами чмстой химии, прежде всего фоторезистом: светочувствительным материалом, без которого производство микрочипов попросту невозможно? Здесь в передовиках опять японцы: компании Sumco и Shin-Etsu производят около двух третей всех кремниевых подложек в мире, и примерно такую же часть мирового объёма продуктов чистой химии для производства микрочипов производят такие японские передовики как Tokyo Ohka Kogyo, Shin-Etsu и Sumitomo Chemical.

Южнокорейская SK Hynix: один из мировых лидеров в производстве энергонезависимой NAND памяти. Изображение: skhynix.com
Южнокорейская SK Hynix: один из мировых лидеров в производстве энергонезависимой NAND памяти. Изображение: skhynix.com

Возникает вопрос: а что же корейцы? О промышленном оборудовании и материалах для полупроводниковой промышленности южнокорейского производства не очень то и слышно. Но ведь мы знаем, что микроэлектроника Южной Кореи в числе самых передовых в мире. Samsung Electronics, к примеру, занимает почётное второе место пообъёму контрактного производства микрочипов после тайваньского гиганта TSMC. Более того, всего две южнокорейские компании, Samsung Electronics и SK Hynix, производят более половины всего мирового объёма микросхем памяти. А компания MagnaChip является ведущим в мире производителем интегральных схем драйверов дисплеев: тонкоплёночными транзисторами в набирающих популярность OLED-дисплеях управляют именно такие микросхемы.

Фабрика SK Hynix в Инчхоне, Южная Корея. Изображение: skhynix.com
Фабрика SK Hynix в Инчхоне, Южная Корея. Изображение: skhynix.com

Так где же полупроводниковые предприятия Южной Кореи закупают оборудование, сырьё и материалы? Конечно, значительную их часть они как все получают из Японии и США. Но в Южной Корее есть и свои собственные производители подобного оборудования и материалов. И самыми яркими их представителями являются такие компании как производитель оборудования атомно-слоевого осаждения (ALD) Jusung Engineering, производитель полупроводниковых пластин (подложек) SK Siltron и производитель продуктов чистой химии Dongjin Semichem.

Фабрика Jusung Engineering. Изображение: jusung.com
Фабрика Jusung Engineering. Изображение: jusung.com

Эти компании не так известны на международных рынках, так как специализируются прежде всего на своём внутреннем рынке. Зато на нём они занимают очень прочные позиции. Все три упомянутые компании имеют самые прочные отношения как с Samsung Electronics, так и с SK Hynix, так что работы им хватает. А крупный производитель оборудования для травления и очистки пластин, компания SEMES, вообще принадлежит Samsung Electronics.

Установка осаждения Jusung Engineering. Изображение: jusung.com
Установка осаждения Jusung Engineering. Изображение: jusung.com

Следует отметить, что южнокорейские полупроводниковые гиганты ценят и поддерживают своих местных производителей, особенно после того как в 2019 году Япония по политическим причинам на четыре года заблокировала экспорт в Южную Корею важнейших химических материалов, используемых для производства микрочипов и панелей дисплеев: фоторезиста, фторида водорода и фторированного полиимида.

На полупроводниковой фабрике в Южной Корее. Изображение: skhynix.com
На полупроводниковой фабрике в Южной Корее. Изображение: skhynix.com

Особенно болезненной для корейской микроэлектроники оказалась невозможность импорта фоторезиста для EUV (экстремальный ультрафиолет) фотолитографии, в которой японские производители являлись мировыми монополистами. И именно южнокорейская Dongjin Semichem смогла ударными темпами разработать тогда собственный EUV фоторезист. Санкции японцы уже сняли, но осадочек остался. Так что перспективы у южнокорейских производителей, и прежде всего на собственном рынке, вполне оптимистичны.