Прямо скажем, Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ), разработчик первого российского фотолитографа, ключевого оборудования в производстве микрочипов, не слишком-то баловал подробностями своей работы любителей отечественной электроники. Ну а о фотографиях и говорить нечего. Тем приятнее полюбоваться на предоставленный пресс-службой компании изображением новенького фотолитографа. Причём не просто фото машины в корпусе, а так, чтобы можно было как следует рассмотреть оптическую колонну.
Это роскошное фото появилось на фоне заявления ЗНТЦ о завершении опытно-конструкторских работ по созданию первого отечественного фотолитографа (установки совмещения и проекционного экспонирования) с разрешением 350 нанометров. Не секрет, что в разработке отечественной литографической машины самое деятельное участие принимал белорусский «Планар», ведущий производитель фотолитографической техники ещё советского времени.
Следует отметить, что после распада Советского Союза «Планар», в отличие от многих предприятий советской электроники, сумел не только сохранить компетенции советского времени, но и нарастить их. Последние годы именно минский производитель оставался ведущим поставщиком фотолитографической техники российским предприятиям электронной промышленности. Хотя техпроцессы, по которым работает белорусская техника, ультрасовременными никак не назовёшь.
Впрочем, это ни в коем разе не умаляет заслуги белорусских коллег. Ведь в таких отраслях промышленности, как станкостроение, авиастроение и автопром, ультрасовременные микрочипы, изготовленные по новейшим техпроцессам в несколько нанометров, не особенно-то и востребованы. Так что 800 нм фотолитографы, которыми предприятия российской полупроводниковой промышленности все последние годы обеспечивали белорусские коллеги, пришлись как нельзя кстати.
Но 350 нм — это серьёзный шаг вперёд. К тому же он открывает прямую дорогу к более современным, 130 нм и 90 нм машинам. Кстати, по словам генерального директора ЗНТЦ Анатолия Ковалёва: «Новая совместная разработка имеет ряд преимуществ: существенно увеличена площадь рабочего поля – 22х22 мм по сравнению с предшествующей – 3,2х3,2 мм, на ступень больше максимальный диаметр обрабатываемых пластин – 200 мм вместо 150 мм».
Это заявление очевидно ставит точку в спекуляциях, курсировавших в интернете, что мол просто переклеили бирку на белорусском литографе. Потому что такое существенное увеличение рабочего поля машины непременно предусматривает разработку нового объектива. Так что зеленоградский фотолитограф — действительно зеленоградский.
Следует отметить, что наш фотолитограф работает с источником излучения, генерирующем ультрафиолетовые волны длиной 365 нм. Во всём мире такие машины квалифицируются как i-line: фотолитографы с ртутной лампой в качестве источника излучения. В нашей установке использован твердотельный лазер, что само по себе является замечательным достижением, учитывая более высокую мощность и энергоэффективность этого источника.
Отечественный фотолитограф уже принят государственной комиссией. Теперь дело за заказчиками и серийным производством. А учитывая высокую потребность в такой технике, заказчики не должны заставить себя долго ждать.