Дифференциальное вождение пьезо нано сцена позиционирования
Пьезо столик P16 славится своим малым объемом и большим рабочим объемом. Его внешние размеры составляют всего 60×60×20 мм. Смещение может быть выбрано 50 мкм или 100 мкм. Очень малый объем и малая высота обеспечивают больший рабочий объем.
Двухмерный подвижный пьезо столик P16 XY имеет в центре сквозное отверстие диаметром 20 мм, что очень удобно для оптических приложений.
Недавно CoreMorrow модернизировала серию P16, улучшив структуру и внешний вид, чтобы сделать ее более интегрированной, и в то же время значительно повысилась надежность.
Интерфейс установки
Переносимый груз можно зафиксировать через 4 резьбовых отверстия М3 на расстоянии 25 мм или 4 резьбовых отверстия М2 на расстоянии 16 мм на подвижной поверхности. Механический интерфейс удобен для установки.
Принцип вождения
Пьезо столик P16 — это специальный столик движения. Он использует дифференциальное управление движением. Хотя это двухмерное движение, для управления им требуется трехканальный пьезоконтроллер с постоянным напряжением. Это связано с тем, что движения каждой оси внутри нее приводятся в действие двумя наборами дифференциальных приводов с пьезоэлементами, как показано на рисунке ниже.
Инструкция по применению / кривая смещения
Из-за дифференциального привода кривая смещения разомкнутого/замкнутого контура пьезоступени P16 немного отличается от кривой пьезоступени без дифференциального привода. Взяв в качестве примера управляющее напряжение 150 В, взаимосвязь между смещением замкнутого контура в направлении оси X и управляющим напряжением показана на рисунке ниже. Кривая смещения и напряжения в направлении оси Y такая же, как и по оси X.
Как видно из рисунка выше, когда управляющее напряжение составляет 75 В, положение перемещения вернется в исходное положение до подачи напряжения.
Технические данные
Тип: П16.СИ100С/К
Ось: X Y
Диапазон перемещения: 80 или ±40 мкм/ось при 120 В
Диапазон перемещения: 100 или ±50 мкм/ось при 150 В
Датчик: СГС
Диафрагма: φ20 мм
Разрешение замкнутого/открытого контура: 10/5 нм
Линейность замкнутого контура: 0,4% полной шкалы.
Повторяемость замкнутого контура: 0,1% полной шкалы.
Тангаж/рысканье/крен: <25 мкрад
Толкающее/тянущее усилие: 30 Н
Жесткость: 0,5 Н/мкм
Резонансная частота без нагрузки: 400 Гц
Замкнутый/разомкнутый цикл без нагрузки Время шага: 10/1,6 мс
Рабочая частота замкнутого контура без нагрузки: 100 Гц при смещении 10 %.
Рабочая частота замкнутого контура без нагрузки: 10 Гц при 100% смещении
Нагрузка: 1,5 кг
Емкость: 3,6 мкФ/ось
Материал: сталь, алюминий
Масса: 220 г
Примечание: смещение P16.XY50S/K составляет 50 мкм или ± 25 мкм.
Заявление
• Микроскопическое изображение
• Осмотр поверхности
• Интерференция / измерение
• Точное позиционирование
• Оптика
• Микроманипуляции