Пьезо фазовращатель
Пьезо-фазосдвигатель является наиболее важным компонентом фазосдвигающего интерферометра. Пьезо фазовращатель широко используется благодаря высокому разрешению, быстрому отклику, простоте управления и стабильной работе.
Однако у пьезокерамики есть и свои недостатки, а именно погрешность нелинейности и малое смещение, что является причиной широкого диапазона ее применения.
В ответ на эту проблему компания CoreMorrow разработала схему управления напряжением PZT для управления приводом фазовращателя для достижения фазового сдвига за счет использования гибкой шарнирной конструкции с характеристиками усиления. В сочетании с оптикой, более низким компьютерным программированием и написанием программ обработки данных на платформе разработки программного обеспечения было разработано устройство измерения точного управления фазовым сдвигом.
Чтобы эффективно устранить влияние нелинейности PZT, ползучести и гистерезиса на точность фазового сдвига, устройство использует управление с обратной связью с обратной связью, сформированное смещением напряжения, для реализации адаптивного управления позиционированием микромасштабного привода, что значительно улучшает нелинейность. и уменьшает Внешнее воздействие и помехи значительно повысили точность измерения фазового сдвига.
Пьезофазосдвигатель CoreMorrow управляется тремя комплектами пьезоэлементов, которые можно использовать для линз с апертурой до 106 мм в диаметре, а смещение может достигать более 20 мкм. Эксперименты показали, что пьезо-фазосдвигатель имеет лучший эффект, а точность управления может достигать субнанометрового уровня, что может значительно повысить точность измерения, имеет широкое практическое значение в технологии измерения фазы и широко используется в различных современных интерференционных приборах. .
В голографической интерферометрии необходимо определить величину и направление смещения и деформации объекта. В процессе обнаружения в реальном времени необходимо немедленно и быстро оценить направление смещения и деформации объекта. Существует много способов судить об этом, но одни более громоздки, другие сложны, одни требуют специального оборудования, другие кажутся весьма неинтуитивными и т. д., что доставляет немало неудобств голографической интерферометрии.
Пьезофазовращатель может решить все вышеперечисленные проблемы.
In real-time holographic interferometry, in order to discriminate the direction of the object's displacement and deformation, piezo phase shifter is placed on the reference optical path, which is actually a small mirror that uses the piezo effect to control its spatial position. We use the phase shifter has mirror diameter of up to 106 mm and the control voltage is adjusted to move the mirror back and forth by 20 microns in the range of 0-120V. The piezoelectric phase shifter is used to change the reference optical path, and the direction of the displacement and deformation of the object is judged according to the moving direction of the interference fringe at this time. This method is simple, convenient and intuitive, and can quickly make the direction of the displacement and deformation of the object reliable. Judgment.
