В этой статье представлен волоконно-оптический датчик давления Фабри-Перо (FP), полностью состоящий из SiC, основанный на технологии прямого гидрофильного соединения для приложений в суровых условиях. Обсуждаются принцип работы, изготовление, интерфейсные характеристики и испытание на давление предлагаемого датчика давления, полностью состоящего из SiC. Полость FP образована путем герметичного прямого соединения двухслойных пластин SiC, включая утоненную диафрагму SiC и пластину SiC с протравленной полостью. Интерференция белого света используется для обнаружения и демодуляции сигналов давления датчика. Результаты экспериментов демонстрируют возможности измерения в диапазоне давлений до 800 кПа. Оптическая ловушка, лазерный луч с круговой поляризацией, может левитировать и управлять вращением микросфер в жидкой среде с высокой жесткостью. Сила захвата выполняет роль удержания, в то время как захваченная частица может быть аналогом плавающего в жидкости гироскопа с тремя степеням
Волоконно-оптический датчик из карбида кремния на основе прямого соединения пластин для измерения давления при высоких температу
6 января 20226 янв 2022
3
1 мин