01. Нанопроцессорные технологии
За последние десятилетия нанотехнологии способствовали быстрому развитию интегральных схем и высокой степени интеграции устройств. Нанопроцессорные технологии - это инструменты для понимания и изучения микромира. Понимание этой технологии может помочь нам лучше понять современные высокотехнологичные отрасли, поддерживаемые нанотехнологиями и нанотехнологиями.
Основное различие между нанотехнологиями обработки и традиционными технологиями обработки заключается в том, что конструкция устройства, сформированная этим процессом, имеет размер нанометра. Его можно разделить на две категории: метод обработки сверху вниз, который формирует сложные микроструктуры по слоям на плоской поверхности подложки, или может быть понят как конкретная обработка на основе существующих материалов для реализации наноструктур и устройств. В настоящее время более зрелые технологии нанообработки, такие как фотолитография, нанопечать и зондовые технологии, относятся к этой категории технологий обработки. Другой - это метод обработки снизу вверх, который опирается на процесс самосборки молекул и может создавать наноструктуры с молекулярного уровня. Этот тип обработки заключается в получении рисунков посредством молекулярного роста без основной структуры или материала.
02 Нанопечатающая технология
В настоящее время наиболее широко используемой технологией нанопроизводства является технология обработки планшетов, которая основана на фотолитографии. Фотолитография означает перенос рисунка интегральной схемы с маски на чип посредством экспозиции и травления. В настоящее время предельная разрешающая способность системы экспозиции составляет половину длины волны. Технология нанопечати позволяет трансформировать рисунок путем физической деформации транслитера, а не изменения его химических свойств. Его разрешение зависит от размера маски, и процесс печати не ограничен такими факторами, как длина волны света и числовая апертура объектива. Ожидается, что он нарушит ограничения разрешения традиционных фотолитографических процессов.
03 Основные процессы нанопечати
Технология нанопечати состоит в том, чтобы перепечатать рисунок на маске на подложку с помощью транслитера. Транспортные среды в основном используют полимерные пленки (например, PMMA, PDMS и т. Д.). Процесс нанопечати включает в себя два основных этапа: копирование рисунка и перенос рисунка. При нажатии маска помещается в трансформатор. Через некоторое время передающая среда будет полностью заполнена нанополостью, а затем высвобождается давление для отверждения и размножения. На подложке образуется вспомогательная транскрипция. После завершения процесса репликации рисунка сначала необходимо использовать анизотропное травление или реакционное ионное травление (RIE) для удаления остаточного слоя антикоррозионного агента на подложке, а затем начать процесс передачи рисунка. Трансферный рисунок может быть получен методом травления или отслоения (осаждения, растворения). В процессе травления структура рисунка антикоррозионного материала на подложке используется в качестве маскировочного слоя, а затем травление подложки с помощью анизотропного травления и других методов, которые переносят рисунок на подложку. Десорбция состоит из двух этапов: осаждения и растворения. Во - первых, поверхность антикоррозионного агента покрыта слоем металлической пленки, а затем органическим растворителем растворяется антикоррозионный агент и металлическая пленка на поверхности. Оставшаяся металлическая пленка на подложке становится микроструктурой, похожей на рисунок на шаблоне маскировки, а затем получает перепечатанный рисунок. Основные процессы нанопечати показаны на рисунке 1.
Поскольку технология нанопечати использует маски в масштабе 1: 1 для передачи графики, нет необходимости рассматривать проблему ограниченного разрешения.
Платформа для переноса напряжения CoreMorrow
В процессе нанопечати пьезоэлектрическая наноплатформа и привод CoreMorrow обеспечивают стабильный выход смещения и управление операциями с точностью до наноуровня, обеспечивая при этом больший выход и быстрый отклик. пьезоэлектрический наноуровень CoreMorrow является важным исполнительным компонентом технологии нанопечати.
Примеры параметров фазы пьезоэлектрического нанопозиционирования CoreMorrow
P12A.XY200Z100 пьезоэлектрический сканер
Модель: P12A.XY200Z100S
Датчик замкнутого контура: Да
Спортивная ось: X Y Z
Диапазон хода: XY250 мкм / ось, Z100 мкм
P15.XYZ100 пьезоэлектрическая нанолокационная станция
Модель: P15.XYZ100S
Датчик замкнутого контура: Да
Свобода движения: X Y Z
Диапазон хода: 120 мкм / ось
P15.XYZ300 пьезоэлектрическая нанолокационная станция
Модель: P15.XYZ300S / K - C1
Датчик замкнутого контура: Да
Спортивная ось: X Y Z
Диапазон хода: 300 мкм / ось
P17.XY200 пьезоэлектрическая нанолокационная станция
Модель: P17.XY200S
Датчик замкнутого контура: Да
Спортивная ось: X Y
Диапазон хода: 187,5 мкм / ось
P18.XY200 пьезоэлектрическая нанолокационная станция
Модель: P18.XY200S
Датчик замкнутого контура: Да
Спортивная ось: X Y
Диапазон хода: 250 мкм / ось