Huawei подает патентную заявку на сканеры EUV.
Компания Huawei подала патентную заявку на сканер для литографии в экстремальном ультрафиолете (EUV), сообщает UDN. Если компания создаст такой сканер и добьется достойной производительности, времени работы и выхода продукции, китайские чипмейкеры смогут производить чипы по технологиям суб-7 нм класса. Вопрос только в том, когда.
В середине ноября Huawei подала заявку в Государственное ведомство интеллектуальной собственности на получение патента на EUV-сканер и его ключевые компоненты. Номер патентной заявки - 202110524685X, сообщает MyDrivers.
Судя по всему, патентная заявка охватывает все важнейшие компоненты EUV-сканера, включая генератор EUV-света 13,5 нм (источник света), набор отражающих зеркал, систему литографии и "технологии управления контролем" (мы предполагаем, что так они называют метрологию), согласно описаниям, опубликованным различными СМИ.
Подача заявки на патент не равна возможности построить EUV-сканер, который представляет собой очень сложную машину с многочисленными современными компонентами, которые должны работать идеально согласованно и в течение длительного времени. Более того, даже имея под рукой инструмент EUV, чипмейкеры все равно должны найти подходящие пелликулы для масок, резисты и многое другое, необходимое для крупносерийного производства.
EUV-сканер с числовой апертурой 0,33 - это вершина современных инструментов для производства полупроводников. Многие компании пытались разработать такой инструмент, но только ASML добилась успеха после более чем десяти лет разработок и при финансовой поддержке Intel, Samsung и TSMC. Сегодня Samsung, SK Hynix и TSMC активно используют инструменты EUV от ASML, но Intel еще не начала крупносерийное производство чипов с использованием этих инструментов.
На данный момент только Intel, Micron, Samsung, SK Hynix и TSMC используют или планируют использовать EUV-сканеры. Более того, только эти пять компаний разработали (или планируют разработать) технологические процессы, достаточно сложные для использования преимуществ EUV-сканеров. Между тем, китайская компания SMIC не смогла получить уже закупленный инструмент EUV для разработки собственного процесса производства на основе EUV из-за Вассенаарского соглашения. Таким образом, очевидно, что спрос на EUV-сканеры потенциально существует в Китае, и, очевидно, компания Huawei стремилась удовлетворить его.
Будучи высокотехнологичным конгломератом мирового класса с годовым доходом около 100 миллиардов долларов, компания Huawei преследует различные цели и разрабатывает множество технологий. Амбиции компании в области производства полупроводников хорошо известны, и они не ограничиваются производством чипов, но и строительством оборудования для производства пластин. Усилия Huawei в области WFE продвигаются довольно успешно, поскольку компания подала заявку на патент на сканер EUV.
