Первые фильмы со сверхъестественными событиями, которые можно отнести к фильмам ужасов, появились ещё у Жоржа Мельеса в конце 1890-х годов, одна из самых известных его работ — это фильм 1896 года «Замок дьявола» (иногда его называют первым фильмом ужасов),также это один из первых фильмов, в котором использовались самые примитивные спецэффекты (стоп-кадр, мультиэкспозиция, ускоренная и замедленная съёмка). Другим его значимым проектом был фильм «La Caverne» 1898 года (примерно переводится «Пещера Демонов»).В Японии одними из ранних фильмов жанра были «Bake Jizo» и «Shinin no Sosei», оба 1898 года. В 1910 году компания Edison Manufacturing Company выпускает самую первую известную экранизацию готического романа Мэри Шелли «Франкенштейн, или Современный Прометей». Фильм называется «Франкенштейн» и идет всего 12 минут, на протяжении десятилетий фильм считался утраченным, информация о нём исчерпывалась фотографией Чарлза Огла в образе Чудовища и изложением сюжета из каталога фильмов Эдисона. В 1950-х годах копия фильма была приобретена коллекционером из Висконсина Алоизом Детлаффом, который не придал этой плёнке особого значения и лишь в 1970-х годах обнаружил, что владеет уникальным раритетом. В 1993 году фильм был перевыпущен.
Также некоторые исследователи к одному из первых фильмов ужасов относят вышедший 22 августа 1913 года в Германии фильм ужасов «Студент из Праги». Именно в этот день в берлинском кинотеатре Mozart Saal состоялась премьера этого фильма. Однако, как отмечают исследователи, именно «Студент из Праги» обладал наиболее характерными чертами зарождавшегося жанра. XX век принёс большой вклад в фильмы ужасов, первым монстром в полнометражном фильме стал Квазимодо в экранизации романа Виктора Гюго «Собор Парижской Богоматери». Фильмы, в которых появлялся горбун — «Эсмеральда» Элис Ги-Бланш (1905), «Горбун» (1909), «Любовь Горбуна» (1910) и «Нотр-Дам де Пари» (1911).
Многие из самых ранних полнометражных фильмов ужасов принадлежали к немецкому экспрессионизму, среди которых были и фильмы, повлиявшие на кинематограф Голливуда. Среди них были «Голем» (1920) Пауля Вегенера, «Кабинет доктора Калигари» (1920) Роберта Вине, этот экспрессионистский стиль повлиял на таких режиссёров как Орсон Уэллс и Тим Бёртон. Также в 1920-е годы Фридрих Мурнау создал самый запоминающийся образ вампира в своём фильме «Носферату. Симфония ужаса», экранизации романа Брэма Стокера «Дракула».
В 1920-х годах в Голливуде в драмах часто применялись особенности жанра ужасов, например в фильмах «Горбун из Нотр-Дама» (1923) и «Монстр» (1925), в обоих этих фильмах монстров играл звезда немого кино ужасов Лон Чейни. Одна из самых знаменитых его ролей — это призрак в фильме «Призрак Оперы» (1925), который входит в Классическую серию фильмов ужасов студии Universal.
Настоящим прорывом как для всей киноиндустрии в целом, так и для жанра фильмов ужасов, стало появление звука. Среди первых звуковых фильмов ужасов — фильм «Террор» (1928), который ныне считается утерянным.
